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| 品牌 | TK-FUJIKIN韩国 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
金属隔膜手动螺旋压紧式阻断阀
顺时针旋转蓝色手轮，丝杆下压，Ni-Co 镍钴合金金属隔膜向下压紧 PCTFE 阀座，流道wan全关闭，实现管路阻断隔离；
逆时针旋转手轮，丝杆抬起，隔膜回弹离开阀座，流道导通；
隔膜把执行机构（丝杆 / 手轮侧）与工艺气体wan全隔离，无填料密封，杜绝介质外漏；
功能定位：全关 / 全开二位阻断，不用于流量调节，只做隔离、检修切断。
低压等级，最高 1.0MPa，专为 UHP 超高纯特气管路设计
低内部死容积，减少管路置换时间，降低气体残留
Ni-Co 合金金属隔膜，低发尘；阀座 PCTFE，耐多数腐蚀性、自燃性特种气体
阀体 SUS316L VAR 真空重熔不锈钢，锻件圆棒加工，无铸造气孔；EP 电解抛光低析出
100% 氦检：阀座内漏、外漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
可选关位锁扣，检修时锁死阀门，防止误开启，安全防护
无尘室 Class100 组装、DIW 超纯水清洗、脱脂禁油、真空双袋包装
阀体激光yong久打码，材质证书可追溯；可定制哈氏合金 C22 阀体用于强腐蚀介质
手轮颜色可定制；手轮方向直观判断开关状态
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 产品系列 | DVN 低压手动阻断隔膜阀 |
| 驱动方式 | 手动手轮螺旋驱动（二位阻断，不做流量调节） |
| 公称口径 | 1/4"、3/8"、1/2"、3/4" |
| 最大工作压力 | 1.0 MPa（10bar） |
| 流体温度 | PCTFE 阀座：-10℃ ~ +80℃；PI/PFA 阀座可到 150℃ |
| 接液材质 | 阀体：SUS316L VAR；隔膜：Ni-Co Elgiloy；阀座：PCTFE（标准），PI/PFA 可选 |
| 内表面粗糙度 | EP：Ry ≤0.3μm；BA：Ry≤3.0μm |
| Cv 参考值 | 1/4":0.3；3/8":0.7；1/2":0.7；3/4":1.2 |
| 泄漏指标 | 阀座内漏、外泄漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s（He 检漏） |
| 洁净处理 | 脱脂禁油、DIW 清洗、Class100 无尘室装配、真空包装 |
| 连接方式 | VCR 公 / 母头、BW 自动焊、SW 卡套 |
| 附加选项 | 关位安全锁、哈氏合金 C22 阀体、不同颜色手轮 |
半导体 IGS 集成气体柜、VMB 阀箱、Gas Box：作为手动隔离阀、检修阀，维修阀组 / 设备时切断气源，隔离上下游管路
晶圆厂二次配管、特气支管进出口隔离；刻蚀、薄膜沉积、离子注入机台特气支路手动关断
SiC/GaN 第三代半导体、OLED/LCD 面板、光伏超高纯气体管路
实验室高纯气体分配柜、特种气瓶出口手动切断阀
有毒、自燃、腐蚀性电子特气（SiH₄、NH₃、Cl₂、WF₆等）安全隔离，检修维护时切断气源
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