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| 品牌 | TK-FUJIKIN韩国 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
常用型号：4S4PDVN 系列（高耐久 PDVN）
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 阀体材质 | SUS316L VAR 不锈钢（EP 电抛光），可选哈氏合金 C-22 |
| 隔膜材质 | 镍钴合金（NCF718 金属隔膜，高耐久核心件） |
| 阀座 | PCTFE（标配）；可选 PI、PFA |
| 口径 | 1/4"、3/8"、1/2"、3/4" |
| 流道孔径 | 4.5mm（1/4"）、7mm（3/8"/1/2"） |
| Cv 值 | 0.3（1/4"）、0.7（3/8"/1/2"） |
| 介质最大工作压力 | 1.0 MPa(G) |
| 驱动气源压力 | 0.4 ~ 0.6 MPa(G) |
| 工作温度 | PCTFE 阀座：-10℃ ~ 80℃；PI/PFA 阀座：-10℃ ~150℃ |
| 密封漏率（He 氦检） | 内漏、外漏：≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s |
| 连接方式 | MVCR 外螺纹、VCR 内螺纹、对焊 BW、SW 卡套 |
| 内表面处理 | EP 电抛光，Ra≤0.025μm；可选 UP 超抛光 |
| 开关寿命（高耐久版） | 数十万次循环，相比标准型大幅提升，适合高频启闭工况 |
| 阀腔容积 | 小内腔、低死体积，吹扫置换性能优异 |
| 出厂环境 | 洁净室组装、DIW 超纯水清洗，激光打标，材质可追溯 |
金属隔膜隔离式结构：
气动驱动头：通入驱动压缩空气，气压推动内部活塞下压；
金属隔膜：活塞下压，金属隔膜压紧下方 PCTFE 阀座，切断流体通路（常闭 NC 居多）；
断气复位：驱动头泄压，内部弹簧抬起活塞，金属隔膜回弹，流道打开；
核心特点：金属隔膜隔离驱动气缸与工艺流体，驱动气绝不接触工艺气体，杜绝污染、泄漏风险；流道无波纹管，依靠平面金属膜片密封。
超高循环寿命：改良合金隔膜 + 优化阀座结构，高频开关不易疲劳破损，适配半导体机台频繁启停；
UHP 超高纯：EP 抛光流道，低析出、低颗粒，水汽、氧、碳氢释放极低；
极低死体积：内腔容积小，管路吹扫快，残气少，适合痕量特种气体；
氦级高气密：内外漏率极低，可用于有毒、自燃、腐蚀性特种电子气体；
洁净室出厂，每支氦检；激光打标，材料证书可追溯；
紧凑体积，便于集成在气体柜、阀组箱、机台 ICP/CVD 气路；
可选材质升级：哈氏合金阀体，适配腐蚀性气体；
区分：韩国 TK-FUJIKIN ≠ 日本 FUJIKIN 富士金，两家独立公司。
半导体晶圆制造：刻蚀、沉积、扩散设备特种气体管路（SiH₄、NF₃、Cl₂、NH₃等）、气体柜 IGS、阀岛；
FPD 面板、光伏电池设备超高纯气体管路；
超纯水、洁净流体管路；
实验室、分析仪器：高纯气体输送、吹扫气路；
锂电 / 氢能气体输送（高纯工况）；
危险流体：易燃、有毒、腐蚀性特种气体隔离切断。
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