简要描述：SHIBAURA芝浦电机VHD-3L手动型高真空角阀
VHD系列采用手动操作来打开和关闭阀门。
所有法兰均符合 JIS B2290 标准（VF 型）。
该系列产品均采用不锈钢机身，因此价格较低。
所用的O型圈材料为FPM（氟橡胶）。
通过安装可选的簧片开关，可以检测阀门是打开还是关闭。

SHIBAURA 芝浦 VHD 系列（手动型）高真空角阀

VHD 是芝浦机电（Shibaura Mechatronics）手动高真空角阀，属于 L 型角式真空挡板阀，用于高真空管路通断控制，分为KL 快卸法兰款（NW 卡箍）与L 型 JIS 法兰款两大子系列

SHIBAURA芝浦电机VHD-3L手动型高真空角阀 型号规格

① KL 型（NW 卡箍快拆法兰，小型）

② L 型（JIS B2290 VF 法兰，大口径）

补充：最大口径可至 36 英寸，6 英寸以上为定制接单生产；阀体材质 SUS 不锈钢，密封 O 圈FPM 氟橡胶

SHIBAURA芝浦电机VHD-3L手动型高真空角阀工作原理

属于角式挡板阀，L 型流道：

1. 旋转顶部手轮 / 手柄，带动阀杆做上下直线运动；

2. 阀头挡板下压，压紧氟橡胶 O 型圈密封面 → 关闭，切断真空管路；

3. 反向旋转手轮，阀杆提起挡板，流道导通 → 开启，气体流通；

4. 阀体为 90° 角式结构，进出口呈 L 型，多用于真空腔体与真空泵之间。

产品特点

1. 手动操作：纯人力手轮 / 手柄启闭，无需气源、电源，适合简易真空系统；可选配簧片开关，实现阀开 / 关位置信号检出反馈

2. 全 SUS 不锈钢阀体，耐腐蚀性强，O 圈 FPM 氟橡胶，耐油、耐化学、低放气，适配高真空工况。

3. 低泄漏：本体 + 密封总漏率≤1.3×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，满足高真空要求。

4. 法兰标准化：KL 采用 NW 卡箍、L 系列 JIS B2290 VF 法兰，方便管路对接拆装。

5. 性价比高，结构简洁可靠，维护简单。

6. 同系列还可提供耦合型、三通阀版本。

运用场景

• 小型真空排气装置、实验室真空腔体

• 半导体 / 光电、镀膜、蒸镀、溅射设备真空支路

• 真空干燥、脱气、热处理小型真空设备

• 真空泵组前级 / 高真空侧隔离截止阀

• 分析仪器、检漏设备真空管路手动隔断