SHIBAURA 芝浦 VHD / VAD 耦合型（カップリングタイプ Coupling Type）高真空角阀

耦合型 = 泵直连一体式，专门直接耦合安装在真空泵进气口，阀体下端取消常规法兰，改成与泵口匹配的耦合连接结构；VHD 手动、VAD 气动两个系列都有耦合版本，是芝浦 VHD/VAD 系列里的特殊派生型号

芝浦电机SHIBAURA 泵直连耦合型高真空角阀结构 & 工作原理

1. 流道、挡板密封结构和普通 VHD/VAD 角阀一样（L 型角式挡板阀）；

2. 最大差异：阀体下端口不是标准 NW/JIS 法兰，改为专用耦合接头，可以直接锁在芝浦油旋片泵 / 罗茨泵的泵入口，阀 + 泵一体化装配，省去一段管路 + 法兰垫片；

3. 驱动方式：

• VHD 耦合：手轮手动升降挡板

• VAD 耦合：气缸气动驱动，气源 0.3~0.5MPa，可选簧片开关反馈阀位信号

芝浦电机SHIBAURA 泵直连耦合型高真空角阀 产品特点（耦合型du有优势）

1. 泵体直连，减少管路死空间：取消中间连接管路，减小容积，真空抽速损失更低、抽气更快；

2. 减少泄漏点：少一组法兰密封，降低漏率风险，高真空系统更稳定；

3. 节省安装空间，阀直接坐在泵上方，机组结构紧凑，真空排气单元小型化；

4. 同基础阀的洁净、低放气特性，SUS+FPM，适配半导体、镀膜；

5. 可直接配套芝浦原厂真空泵，成套机组原装替换件；

6. 缺点：专用适配泵口，通用性弱，不能随便换到其他品牌泵；普通法兰阀是管路通用款。

普通法兰型：腔体 ↔ 管路 ↔ 阀门 ↔ 管路 ↔ 泵   耦合型：腔体 ↔ 阀门【直接耦合】→ 泵（少一段管路 + 一对法兰）

运用场景

1. 芝浦真空机组一体式排气单元（真空泵 + 耦合阀成套）；

2. 小型镀膜、蒸镀、脱气设备，泵装在腔体下方，追求紧凑布局；

3. 半导体小型腔体、实验室真空排气台；

4. 设备原厂备件替换（旧设备上原装就是芝浦耦合阀，直接同型号更换）；

5. 适合需要缩短抽气路径、降低漏点的高真空系统。