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| 品牌 | V-TEX/日本 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
V-TEX日本 3PV‑400A 3PV三位摆阀
阀瓣绕转轴做圆弧摆动完成密封与开度调节；区别于插板阀（闸板直线升降）、蝶阀（圆盘旋转）、角阀。同家族：IPV（二位摆阀，仅全开全关）、APC‑Penduroll（电动连续调压摆阀）。
全关：实现腔体与泵组可靠隔离（隔离阀功能）
中间位：固定机械节流开度，改变气流流导，稳定工艺压力（节流阀功能）
全开：最大流导，快速抽真空
口径对应 ISO 大法兰：DN160 / DN200 / DN250 / DN320 / DN400 / DN500，最小起始 160A，无 DN63/80 小口径 3PV（小口径选 IPV）。
| 型号 | 法兰规格 | 参考重量 |
|---|---|---|
| 3PV‑160A | JIS‑A160 / ISO‑F160 | 14kg |
| 3PV‑200A | JIS‑A200 / ISO‑F200 | 21kg |
| 3PV‑250A | JIS‑A250 / ISO‑F250 | 30kg |
| 3PV‑320A | JIS‑A320 / ISO‑F320 | 46kg |
| 3PV‑400A | JIS‑A400 / ISO‑F400 | 72kg |
| 3PV‑500A | JIS‑A500 / ISO‑F500 | 110kg |
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 驱动方式 | 气动，工作气源 0.45‑0.55MPa |
| 工作位置 | 3 位：全关、中间节流、全开；内置位置传感器输出到位信号 |
| 漏率 | 阀瓣：≤1.3×10⁻¹⁰ Pa・m³/s；本体外壳：≤4.0×10⁻¹⁰ Pa・m³/s |
| 寿命 | 标准 50 万次开闭循环 |
| 阀体材质 | 阀体：铝合金；阀瓣：铝合金；法兰 304 不锈钢 |
| 密封 | 标准 FKM（Viton）O 型圈；可选 FFKM 全氟橡胶（腐蚀工艺） |
| 介质温度 | 阀体≤90℃；驱动气缸部分≤60℃；可选阀体加热夹套 |
| 适用真空范围 | 大气压～1×10⁻⁷ Pa |
| 开关时间 | 约 1‑2s（随口径增大略增加） |
| 特色结构 | 单颗螺栓拆卸阀瓣，现场快速更换 O 圈，无需拆整机 |
可选定制：硬质阳极氧化、加热功能、特殊密封、防爆、信号模组。
ROLL‑CAM 滚凸轮气缸驱动摆阀瓣旋转；
3PV 气动机械限位，可停留在全关、中间节流开度、全开三档；
中间节流位改变排气流导，限制泵抽速，实现腔室压力稳定；
3PV 是设定固定中间开度；如需动态闭环自动调压，升级同系列 APC‑Penduroll（配专用 JPC 控制器）。
区分：
IPV：2 位（全开 / 全关），只做隔断，无节流；
3PV：3 位，固定中间节流开度，手动 / 设备设定开度；
APC：连续无级闭环压力控制，搭配控制器 + 真空规。
PVD 溅射、PECVD/CVD、ALD 腔体排气端，控制工艺等离子压力；
刻蚀、去胶 Ashing 腔体，固定工艺压力点；
12 寸晶圆设备 TEL 等原厂大量配套。
安装位置：工艺腔 ↔ 分子泵 / 干泵之间的排气管路，不用于晶圆传送（传送用狭缝阀 Slit Valve）。
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