简要描述：富士金Fujikin IGS 集成气路金属隔膜阀
IGS 全称 Integrated Gas System，富士金半导体集成气体输送系统专用气动隔膜阀，半导体 FAB 高纯气路核心阀件

现货｜富士金 FUJIKIN FPR-PSD-21.6-6.35UGC#C IGS 集成气路金属隔膜阀IGS 板载气动隔膜阀，SUS316L 双熔材质，EP 内抛，禁油，氦检微泄漏，适配半导体特种腐蚀性高纯气体，6.35mm (1/4")，现货可发。
 产品特点

1. IGS 板载模块化设计，直接安装在气体集成块上，大幅减小管路内容积，吹扫置换速度快，减少死体积，是半导体气体面板主流方案フジキン

2. 阀体材质 SUS316L 双熔不锈钢（W-melt），阀内电解研磨 EP 处理，内壁粗糙度极低，低析出、低微粒

3. 隔膜：镍钴合金金属隔膜，无橡胶密封，适配高纯、腐蚀性特种工艺气体

4. 阀座密封 PCTFE，耐卤素、腐蚀性气体；禁油洁净处理

5. 氦检标准：阀座泄漏 & 外漏均可达 5×10⁻¹² Pa・m³/s，超高密封性，真空工况稳定フジキン

6. 气动驱动，常闭型；驱动气源压力：0.39~0.59MPa，响应迅速，适合自动化气体通断控制

7. 体积紧凑，维护便捷，可单独拆装，无需拆解整套气路模块

富士金Fujikin IGS 集成气路金属隔膜阀规格参数

富士金Fujikin IGS 集成气路金属隔膜阀应用场景

1. 半导体晶圆制造：刻蚀、沉积、离子注入设备的特种工艺气体（Cl₂、NH₃、SiH₄、N₂、Ar 等）供气面板 IGS 气路模块

2. 高纯特种气体、腐蚀性气体、真空管路通断控制

3. 光伏、显示面板、实验室超高纯气体输送系统

4. 电子行业气体柜、气体分配单元 GDU