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日本RIKEN理研 PLU-70智能固定式气体检测仪

简要描述:日本RIKEN理研 PLU-70智能固定式气体检测仪
特征
本设备设计用于与GD-70D配合使用。
• 与GD-70D配合使用时,可检测NF3、TEOS等有害物质
。• 尺寸设计与GD-70D系列相同。
• 使用可重复使用的部件
。• 可回收组件减少对环境的影响。
• 符合多项国际标准。
• 符合CE认证标准。

基础信息

产品型号

厂商性质

经销商

更新时间

2026-10-09

浏览次数

29
详细介绍
品牌RIKEN/日本理研产地类别进口
应用领域能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备

日本RIKEN理研 PLU-70智能固定式气体检测仪产品特点

  1. 智能插拔传感器模组(核心亮点)传感器自带校准数据,即插即用;更换传感器无需主机重新标定,大幅缩短停机维护时间;支持电化学、热分解、半导体、催化燃烧等多种检测原理,主机通用平台。

  2. 泵吸式采样,内置静音长寿命采样泵自动流量监测,流量异常报警;主机内部无复杂管路,泵单元可免工具前侧更换,维护简单。

  3. 自诊断 + 数据记录功能持续自检:系统故障、传感器劣化、流量异常、通信故障;内置数据日志,记录报警事件、校准记录、浓度趋势,可保存报警前后 180 秒趋势曲线。

  4. 多通信版本可选4~20mA 模拟量、DeviceNet、LONWORKS、Ethernet (PoE 网口)、NT 两线制,适配工厂 DCS/PLC 系统;GD-81D 一台可同时监测 2 种气体,GD-84D 可同时监测 4 种气体,节省安装空间与布线成本。

  5. 带背光 LCD 大屏显示实时显示气体名称、浓度、流量、报警状态、故障代码;双级报警(1st/2nd)红色指示灯,故障黄色指示灯;前面板按键,无需开盖即可完成参数设置与测试。

  6. CE 认证,适配半导体洁净厂房环境,本体系列为非防爆机型(防爆场景选用 GD-A80 系列)

日本RIKEN理研 PLU-70智能固定式气体检测仪适用工况

  • 环境温度:0~40℃,禁止温度骤变

  • 环境湿度:30~70% RH,无冷凝结露(湿度上限随传感器种类略有差异)

  • 采样方式:泵吸引样,标准流量 0.5L/min±10%

  • 安装环境:半导体洁净车间、特气柜、管道采样点;不能用于有强冲击振动、大量粉尘、油雾长期附着的现场;

  • 介质:半导体各类有毒、腐蚀性特种气体;可搭配热分解单元(Pyrolyzer)检测 TEOS、VHP 等需要高温裂解检测的有机气体;

注意:GD70/81/84D 本体非防爆结构,易燃易爆危险区域需要选用 GD-A80 防爆系列。

规格参数

项目GD-70D(单通道)GD-81D(双通道)GD-84D(四通道)
检测通道1 路气体同时 2 路气体同时 4 路气体
电源DC24V±10%;EA 型号支持 PoE 供电DC24V±10%,PoE 可选DC24V±10%,PoE 可选
采样方式内置泵吸式 0.5L/min内置静音泵吸式内置泵吸式
显示白色背光 LCD,浓度、流量、报警、故障码彩色 LCD,双气体同屏显示大尺寸点阵 LCD,4 组分同屏显示
报警输出1 段 / 2 段气体报警、故障报警,继电器接点输出双路独立报警继电器四路独立报警继电器
通信选项4-20mA / NT 两线 / DeviceNet / LON / Ethernet (PoE)4-20mA、PoE 以太网 Web 访问4-20mA、PoE 网络
外形尺寸约 70 (W)×120 (H)×145 (D) mm150×190×146mm150×190×146mm
重量约 0.9kg(含传感器)约 1.4kg约 1.9kg
记录功能事件、校准、报警趋势日志事件、校准、报警趋势日志事件、校准、报警趋势日志

可检测气体(配套智能传感器模组)

  • 有毒气体:NH₃、CO、H₂S、Cl₂、AsH₃、PH₃、BCl₃、BF₃、Br₂、HF、HCl 等;

  • 特殊气体:TEOS、VHP(需搭配热分解单元 PLU);

  • 可燃气体、H₂等(搭配对应热丝半导体传感器);量程由选配传感器决定,常见 ppm 级别,部分可支持 ppb 级检测理研計器株...。

应用场景

  1. 半导体晶圆制造工厂(核心场景)特气柜、气体管路、刻蚀、沉积、扩散等工艺区域,有毒 / 腐蚀性特种气体泄漏监测;TEOS、VHP 等前驱体气体监测。

  2. 面板、光伏电池工厂特种工艺气体、磷化氢、砷化氢、氨气等有毒气体在线监测。

  3. 实验室、化学品洁净仓库洁净室内有毒气体泄漏在线监测。

  4. 制药、真空镀膜行业VHP 熏蒸消毒浓度监测。

配套选型:热分解单元 PLU-B0 用于 TEOS 等有机硅烷类气体裂解检测;滤尘过滤器保护泵与传感器,减少颗粒污染。


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