简要描述：日本ORK半导体高纯波纹管可电解抛光
日本百年金属波纹管 / 柔性软管厂商，半导体真空、高纯气体、化工、低温、氢能管路主流品牌；分为成型柔性软管（带编织网，设备配管）、裸波纹管（膨胀节本体）两大产品线

日本ORK半导体高纯波纹管可电解抛光

型号：SM 型 RX-01螺纹：G1/8（管用平行外螺纹，也可选用 R1/8 锥外螺纹）适配波纹管：ORVB-3WF、ORV-3PS 等 3A（1/8"）小管径波纹管软管

结构特点

1. 固定型外螺纹：接头本体与波纹管直管段焊接为一体，接头不能旋转。安装时只能旋转对方内螺纹座，严禁转动波纹管，防止波纹管扭转变形、疲劳断裂。

2. 标准材质：SUS316L；可选 SUS304、哈氏合金 C22

3. 表面处理：标准酸洗；半导体高纯规格可做 EP 电解抛光

4. 气密性：半导体真空规格氦检漏：≤1.33×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

5. 一体式焊接结构，焊缝少，低析出，适合洁净管路

工况参数

• 压力范围：真空 ～ 最高 11MPa（搭配带编织网波纹管）

• 使用温度：-196℃ ～ 400℃

• 适用介质：高纯氮气、氩气、氧气、真空、纯水、冷却水、弱腐蚀工艺流体

• 不可用介质：浓氟化介质

应用场景

半导体设备内部微小高纯气路、小型真空管路、精密分析仪器配管；狭小空间 1/8 英寸螺纹接口连接，搭配 ORK WF 超柔软系列、Micro Mini 微小径波纹管。

日本ORK半导体高纯波纹管可电解抛光产品核心特点

ORK 为日本成型式环形金属波纹管，主打高柔性、高洁净、低弹簧系数、长疲劳寿命，半导体真空 / 高纯管路认可度高

柔性优异WF 型达到类似橡胶软管的柔软度；SF 相比传统 A 型波形优化、壁厚减薄，弯曲半径更小、轻量化；Light Free 裸波纹管采用极薄成型工艺，弹簧常数仅传统产品约 1/5，微小位移补偿轻松，多层结构兼顾柔软与承压大阪ラセン...。环形波形结构，加压不易扭转变形，吸收轴向、横向、角向位移，用于减振、热胀冷缩补偿、安装对中偏差。

洁净度高（半导体款）SUS316L 真空双熔材可选，内壁抛光 Rz≤0.7μm；洁净室精密清洗，低微粒析出；氦检漏可达≤1.33×10⁻¹⁰ Pa·m³/s，满足超高真空、高纯工艺气体要求。

材质丰富，耐腐蚀可选标配 SUS304/SUS316L；可选用哈氏合金 HC、钛合金、SUS310S 等特种材质，适配从普通介质到强腐蚀介质；全部波纹管本体固溶热处理，残余应力低，抗疲劳开裂。

结构形式多样成品柔性软管（外层配不锈钢编织网提升承压）、裸波纹管膨胀节；可定制夹套伴热型、双拉杆加强膨胀节；接头可选 VCR、KF/CF 真空法兰、JIS 法兰、卡套、焊接直管，管径从微小径到 DN850mm，支持 1mm 单位定制尺寸。

寿命优势Light Free 疲劳寿命约为传统波纹管 10 倍；WF 反复弯折性能突出，适合持续振动、动态位移工况。

适用工况

温度工况

标准不锈钢：-196℃ ~ 420℃（液氮区间）

HC 哈氏合金：最高 450℃

Light Free 裸波纹管可至-269℃液氦超低温

注意：温度升高，允许工作压力会下降。

压力工况

裸波纹管（Light Free）：真空～常压，不可用于高压；

带编织成品软管：真空起步，小管径最高可达 11MPa；常规 SF/A 型真空～1.5~2.0MPa；

可满足超高真空、负压、低压、中压多种等级，高压场景选用双层编织。

适用介质

SUS316L：高纯氮气、氩气、氧气、纯水、真空、弱腐蚀药液；

SUS304：冷却水、压缩空气、蒸汽、普通惰性气体；

HC 哈氏合金：湿氯气、盐酸、含氯离子强腐蚀流体；

不适用：浓氟化介质。

典型工况场景

半导体设备（主力）：CVD/PVD/ 刻蚀机、真空泵减振连接、真空腔体伸缩段、高纯工艺气路；优先 WF、SF、Light Free。

精密真空 / 低温工程：分析仪器、检漏设备、液氮 / 液氦输送、超导设备。

化工湿制程：强腐蚀流体管路，选用 HC 哈氏合金款。

通用工业：泵进出口减振、锅炉、公用管道热膨胀补偿（A 型、拉杆膨胀节）。

新能源：氢气管路、光伏设备配管。