产品中心

Product

当前位置:首页  /  产品中心  /    /  TORAY东丽  /  日本TORAY东丽 LC-450A 氧化锆氧气分析仪

日本TORAY东丽 LC-450A 氧化锆氧气分析仪

简要描述:日本TORAY东丽 LC-450A 氧化锆氧气分析仪
半导体制造过程中的氧污染会对产品质量产生显著影响。因此,氧气浓度计对于监测设备内部(包括前端和后端工艺)的气体成分至关重要。
我们的氧气浓度计,特别是能够进行真空环境测量的传感器分离式型号,集高性能、超快响应、多点测量和节省空间的设计于一体,因此被众多主流设备制造商广泛采用。

基础信息

产品型号

厂商性质

经销商

更新时间

2026-10-19

浏览次数

7
详细介绍
品牌TORAY/东丽价格区间面议
产地类别进口应用领域化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气

日本TORAY东丽 LC-450A 氧化锆氧气分析仪产品特点

  1. 超宽测量量程:0.1ppm~100vol% O₂,自动量程切换,单台设备兼顾微量残氧与百分比浓度测量,无需多台仪表搭配.

  2. 高耐久传感器:东丽自研氧化锆传感器做特殊涂层处理,抗老化,降低硅污染带来的传感器失效风险,寿命长、零点漂移小,校准周期长東レエンジ...

  3. 一体化气路:内置采样泵 + 转子流量计,无需外接真空泵,现场接样气管路即可使用;可选活性炭、棉、硅三重过滤器,过滤粉尘、有机物,保护传感器..

  4. 灵活安装:紧凑型机身,支持桌面放置 / 机柜面板嵌入式两种安装方式,深度比老机型更短,节省设备空间Toray Engi...

  5. 丰富信号输出:4-20mA 模拟量、0-10V(选配)、BCD、继电器报警接点,方便对接 PLC、记录仪、上位系统;4 位数码管直接显示氧浓度

  6. 宽电压 + 国际认证:AC100~240V 宽电源输入;CE、UKCA、RoHS 认证,满足半导体、精密制造洁净车间要求

  7. 启动快:预热时间≤6 分钟,T90 响应≤30s,快速捕捉气氛氧含量波动.

日本TORAY东丽 LC-450A 氧化锆氧气分析仪规格参数

项目参数
型号LC-450A(AC 供电)
测量原理氧化锆浓差电池
测量范围0.1ppm~100vol% O₂,自动多量程:0~1/10/100/1000ppm、1/10/100% vol
重复性±1% FS(0~1ppm 量程仅作参考,不在质保范围)
取样方式内置泵连续抽吸取样
样气总流量1000~2000 mL/min;传感器支路流量 60±10 mL/min
样气压力≤30kPa(微正压)
样气温度0~50℃
样气湿度露点低于环境温度,禁止带液态水滴进入仪器
供电AC100~240V,功耗 50VA(稳态 35VA)
外形尺寸210 (W) ×134 (H) ×300 (D) mm(不含突出接头)
重量约 6kg
气路接口Rc1/4(入口、旁路出口、样气出口)
输出4~20mA 标准,0~10V 选配,报警触点输出

适用工况(样气限制)

允许工况

  • 干燥惰性气体:N₂、Ar、He 等高纯保护气体

  • 样气:无凝露、少量粉尘(需前置过滤);温度 0~50℃,压力≤30kPa 微正压

  • 环境:室内,环境温度 0~40℃,通风良好,无剧烈震动

运用场景

  1. 半导体 & 光电行业(主力场景)CVD、扩散炉、退火炉、溅射腔体、晶圆镀膜、刻蚀设备、液晶面板制程、手套箱残氧在线监测;管控腔体微量氧,防止薄膜氧化,提升良率

  2. 高纯特种气体高纯氮气、氩气、氦气出厂检测,气体管路末端微量残氧监控,验证气体纯度

  3. 热处理 / 新材料真空烧结炉、合金退火、碳纤维、陶瓷烧结,惰性保护气氛氧监控,防止工件氧化

  4. 新能源锂电池、储能材料生产,无氧手套箱、粉体烧结保护气氛监测

  5. 科研实验室材料实验舱、真空实验、气体配比实验,精密微量氧检测


在线留言

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

手机:13530227878

扫码加微信