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| 品牌 | OTSUKA/大塚电子 |
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手持式便携设计,整机约 1.1kg,自带触控屏幕、内置锂电池,连续使用≥4 小时;可直接带入无尘车间、涂布产线、仓库现场检测,无需把样品拿回实验室,AC 适配器也可接电长期使用。
非接触无损测量,不划伤样品;曲面、异形件、湿膜都可测;无需制作检量线,金属 / 非金属基材都适用,对比涡流、接触式测厚仪,减少人为操作误差。
高速单点测量,单次测量约 1 秒;Pro 版可解析最多3 层多层薄膜,标准版仅单层;Pro 可显示反射光谱、功率谱,方便异常分析。
光斑 Φ1mm 以下,光纤探头式;可选笔型细探头,伸入狭小凹槽、边角位置测量;支持离线抽检,不破坏工件,样品测完可继续流向下工序。
数据存储与导出:仪器本地保存记录,U 盘导出 CSV 报表;自带简单折射率参数设置,直接输出膜厚数值,操作简单,产线人员快速上手。
白光 LED 光源,寿命长;波长范围 400~1000nm 可见光波段。
| 项目 | SM-110PO(Pro 专业款) | SM-110SO(Standard 标准版) |
|---|---|---|
| 测量原理 | 反射分光法(光学干涉) | 反射分光法(光学干涉) |
| 波长范围 | 400~1000 nm | 400~1000 nm |
| 膜厚范围(n=1.6 参考) | 单层:0.1~100μm;多层:1~100μm | 单层:1~50μm |
| 多层解析 | 最多 3 层薄膜 | 仅单层膜 |
| 光斑直径 | Φ1mm 以下 | Φ1mm 以下 |
| 重复性 | 2.1σ | 2.1σ |
| 单次测量时间 | 约 1 秒 | 约 1 秒 |
| 整机尺寸 | 138(W) ×198(D) ×61(H) mm | 138(W) ×198(D) ×61(H) mm |
| 重量 | 约 1.1kg | 约 1.1kg |
| 供电 | 内置锂电池(≥4h) / AC100~240V 适配器 | 内置锂电池(≥4h) / AC100~240V 适配器 |
| 数据输出 | U 盘导出 CSV,可查看反射光谱 | U 盘导出 CSV,无光谱显示 |
| 探头选项 | 标准探头 / 选配笔型窄空间探头 | 标准探头 / 选配笔型窄空间探头 |
样品:透明 / 半透明薄膜,膜层存在界面反射;基材玻璃、PET、PI、硅片、金属基板均可;可测固化膜、未固化湿膜。
环境:洁净车间、涂布产线、实验室,环境温度 10~35℃;尽量避免强光直射、强震动。
样品表面:样品表面清洁,少量粉尘可擦拭;曲面、台阶、异形零件都支持测量。
光学薄膜行业(主力)AR 减反膜、HC 硬化膜、AF 防指纹涂层、TAC/PET 光学涂布膜、保护膜、胶层厚度巡检;卷材涂布现场抽检,快速监控膜厚均匀性。
FPD 显示PI 取向膜、光刻胶、PS 间隔物、OLED 封装薄膜、偏光膜涂层;产线现场抽检,不用送样去台式实验室。
半导体 & 封装晶圆光刻胶、封装树脂、钝化有机涂层;仅大面积区域,微小芯片 pattern 不适合。
新材料 / 涂料DLC 涂层、胶粘剂、功能性涂布、光学滤光片涂层、光伏有机涂层;来料检验、现场工艺调试。
研发实验室试样快速筛查、异形件、小批量样品抽检;作为台式 OPTM 的现场辅助抽检设备。