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| 品牌 | MTL/日本 | 供货周期 | 现货 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
核心特点
大通径中空:本体 φ25 大通孔,输出端保留 φ18 贯通,可穿过真空粗管路、水冷管、多束光纤、激光光路、多根屏蔽线,适合需要走管走线的旋转轴,是 MDH-40 的升级大扭矩大通径版本
原厂集成斜齿行星减速,相比同规格无齿轮 MDH-70 直驱扭矩放大 3 倍 / 9 倍,兼顾高精度定位与大负载能力;背隙远优于普通行星减速机
21bit 高分辨率绝对值编码,断电记忆位置,上电直接定位,不需要回零;低速运转齿槽转矩小,旋转顺滑
内置加大交叉滚子轴承,径向、轴向、倾覆负载能力强,治具、载台可以直接锁在输出法兰,省去外部支撑轴承,简化机构
齿轮采用洁净长效润滑,低发尘,适配半导体无尘车间;同安装法兰,老设备升级、直驱改大扭矩方案非常友好
机身紧凑,70mm 外径就能做到最大 20Nm 峰值扭矩,对比谐波方案,刚性更好、抗冲击优于谐波,适合需要刚性分度的工位
工况边界
✅适合:低速精密分度、θ 对位旋转、较重载旋转载台、间歇定位、低速持续旋转
❌ 不适合:高速连续运转(最高仅 66rpm@R3)、剧烈冲击负载、强酸强碱强粉尘环境
对比谐波:背隙略优于普通谐波,但没有谐波零背隙;刚性更强、成本更优;对比 MDH-G-40:扭矩、负载、中空孔径全面升级,体积更大
半导体设备(主力):晶圆载台旋转、固晶 / 封测大尺寸治具 θ 轴、真空吸附旋转模组、探针台大行程角度调整、等离子清洗旋转工位
光学检测与激光:大口径同轴光路旋转、光学镜头对位、光谱检测转台、光纤耦合、激光加工旋转工装
自动化 & 机器人:SCARA 机器人肘关节、协作机器人旋转关节、重型 Zθ 拾取模组、大尺寸点胶旋转轴
精密分度设备:自动化分度盘、MEMS / 大尺寸元件角度测试、3C 大屏检测旋转工位
其他:小型医疗精密旋转机构、真空测试腔体旋转机构
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 机身外径 | φ70mm,方形法兰 70×70mm |
| 机身长度 | 7006:31.5mm;7012:37.5mm;7018:43.5mm |
| 减速比 | R3=3:1;R9=9:1 |
| 编码器 | 21bit 单圈绝对值,4 倍频后 2,592,000 P/R |
| 电机本体中空 | φ25mm;齿轮输出法兰通孔 φ18mm |
| 峰值输出扭矩 R3 | 7006:2.55 N·m;7012:5.61 N·m;7018:7.905 N·m |
| 峰值输出扭矩 R9 | 7006:6.48 N·m;7012:14.256 N·m;7018:20.088 N·m |
| 最高输出转速 | R3:66 rpm;R9:22 rpm |
| 背隙 | ≤3 arcmin,斜齿行星齿轮 |
| 额定供电 | DC48V;支持 DC24V(扭矩衰减,不推荐重载) |
| 允许径向载荷 | 500N |
| 允许轴向载荷 | 250N |
| 允许倾覆弯矩 | 8.5 N·m |
| 内置轴承 | 大尺寸交叉滚子轴承,可直接承载工装 |
| 配套驱动器 | MTL MC-200-7220 / MC-200C-6018 |
| 工作环境 | -10℃ ~ +60℃,无凝露,洁净室对应规格可选 |
| 安装互换 | 法兰孔位与无齿轮 MDH-70 直驱通用,改造不用改固定板 |