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| 品牌 | ohnobellows/大野贝罗 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
日本OHNO BELLOWS大野小型手动波纹管阀DE 系列是紧凑型小通径手动波纹管阀,定位取样、支路、仪表管路;体积小巧,原厂无缝金属波纹管,零外漏,支持开关 + 微量调节,半导体特气、真空系统小支路大量使用。
阀杆与流体腔体之间,OHNO 原厂无缝一体金属波纹管上下焊接隔离,wan全取消传统填料压盖密封。
旋转顶部多圈手轮,带动阀杆做上下直线运动;
波纹管跟随阀杆做拉伸 / 压缩变形,介质被封闭在波纹管内侧流道;
阀杆向下压紧阀座实现关断;抬升阀座流道打开;
介质不会沿阀杆向外泄漏;外部空气也不会倒灌进入管路,兼顾高真空保压;
多圈手轮,除wan全开关,还可以做微量节流调节,兼具截止阀 + 微型针阀功能。
氦检外漏率:≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s,真正阀杆零外漏。
| 项目 | DE 系列参数 |
|---|---|
| 驱动方式 | 手动多圈旋钮 |
| 通径 | DN4 (1/4")、DN6 (3/8")、DN8 (1/2"),主流 DN4/DN6 |
| Cv 流量系数 | DN4:0.12‑0.18;DN6:0.22‑0.28;流道偏小,适合小流量 |
| 阀体材质 | 标准 SUS316L;可选 Hastelloy‑C 哈氏合金(强腐蚀) |
| 波纹管后缀 | MRG 标准、BG 加强疲劳、FRG 高真空柔性、TWG 薄型紧凑 |
| 阀座密封 | 标准 PCTFE / PTFE;可选聚酰亚胺硬密封 |
| 内表面处理 | BA 光亮退火;EP 电解抛光(半导体高纯,Ra≤0.25μm) |
| 最大工作压力 | 常温:3.5MPa(35bar) |
| 真空能力 | 可到超高真空 UHV |
| 工作温度 | PCTFE 密封:‑20℃ ~ +90℃ |
| 连接接口 | VCR 公头、卡套接头、自动对焊 BW;支持两端异径定制 |
| 型号示例 | DE‑04‑MRG‑316L‑EP、DE‑06‑BG‑316L‑EP |
对比 MH / MS:DE 是小型紧凑版,Cv 更小;MH 流通中等;MS 流通最大,主管路优先选 MS/MH;支路取样选 DE。
体积紧凑,安装空间小,适合机柜、气柜内部狭小支路;
波纹管全隔离,无填料,几乎免维护,不需要定期压紧填料;
EP 版本低微粒析出,适配高纯特种气体;
既能wan全切断,又可以精细微量节流;
波纹管日本原厂自产,每只波纹管可追溯,支持返厂更换波纹管维修。
半导体特气柜:取样管路、吹扫支路、分析仪进气切断阀、仪器旁路;
真空设备:腔体旁路、检漏口、真空计隔离阀;
分析仪器、气相色谱、实验室腐蚀性有毒气体管路;
锂电:小流量惰性气体支路;
化工:有毒、易挥发介质小口径取样阀;
设备内部狭小空间,不适合安装 MH/MS 大尺寸阀门位置。