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| 品牌 | ohnobellows/大野贝罗 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
日本OHNO BELLOWS大野标准中型手动波纹管阀MH 系列是中型标准直通手动波纹管阀,定位介于 DE 小型与 MS 大通流之间,半导体高纯管路用量最大的手动波纹管阀;阀体刚性、流通能力优于 DE 系列;对应气动版本为 DC 系列。
采用 OHNO 原厂无缝一体成型金属波纹管,两端焊接,把阀杆运动区域与工艺介质腔体wan全隔离,取消填料压盖密封结构。
旋转上部多圈手轮,阀杆做纯上下直线运动,波纹管跟随同步拉伸 / 压缩;
手轮向下旋压,阀芯压紧阀座实现关断;向上旋开流道导通;
介质wan全被封闭在波纹管内侧,无阀杆外泄漏通道,外部空气也不会倒灌进入管路;
多圈手轮,除全开全关,支持连续精细节流调节,兼具截止阀 + 针阀功能;
氦检漏率:≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s,满足超高真空、特气零外漏要求。
示例:MH‑08‑MRG‑316L‑EP
MH:系列代号,中型标准手动波纹管阀
04/06/08/10:公称通径 DN4、DN6、DN8、DN10
波纹管后缀(4 种通用)
MRG:标准波纹管,绝大多数通用工况,主流选型
BG:加强波纹管,耐压力交变、频繁开关,提升疲劳寿命
FRG:高柔性波纹管,高真空、低压循环工况
TWG:薄型紧凑型波纹管,安装空间狭小
316L:阀体 SUS316L;可选 Hastelloy‑C 哈氏合金(强腐蚀介质)
EP:流道电解抛光(半导体高纯,Ra≤0.25μm);无 EP=BA 光亮退火
本体通径:MH‑04、MH‑06、MH‑08、MH‑10每个通径可搭配 4 种波纹管:MRG / BG / FRG / TWG;材质 316L / 哈氏合金;表面 BA/EP;接口 VCR、BW 对焊、卡套。
市面常用现货型号MH‑04‑MRG‑316L‑EPMH‑06‑MRG‑316L‑EPMH‑08‑MRG‑316L‑EP(zui常用)MH‑08‑BG‑316L‑EPMH‑08‑FRG‑316L‑EPMH‑10‑MRG‑316L‑EPMH‑10‑BG‑316L‑EP
接口可以定制:VCR 公母头、自动对焊 BW、卡套;支持两端异径接口。
| 参数项目 | MH 系列规格 |
|---|---|
| 驱动 | 手动多圈手轮 |
| 公称通径 | DN4、DN6、DN8、DN10 |
| Cv 流量系数 | DN4:0.25;DN6:0.38;DN8:0.55;DN10:0.72 |
| 阀体材质 | SUS316L;可选 Hastelloy‑C |
| 阀座密封 | 标准 PCTFE/PTFE;可选聚酰亚胺硬密封 |
| 最大工作压力(常温) | 3.5MPa(35bar) |
| 真空能力 | 可达超高真空 UHV,支持烘烤除气 |
| 工作温度 | PCTFE 密封:‑20℃ ~ +90℃ |
| 外漏率 | He 检漏 ≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s |
| 内表面 | BA 研磨;EP 电解抛光(半导体高纯) |
| 对应气动款 | DC 系列(DC‑08‑MRG‑NC‑316L‑EP) |
零阀杆外漏:无填料结构,不需要定期压紧填料,几乎免维护,杜绝有毒、可燃介质外泄风险。
波纹管日本原厂无缝制造,单阀可追溯,支持返厂更换波纹管维修。
EP 版本流道低微粒析出,适配高纯特种气体;运动部件不接触工艺介质。
兼顾开关 + 精细流量调节,不用额外加装针阀。
阀体刚性优于 DE 系列,压力波动工况可靠性更好。
半导体特气柜 GC:特气支路切断阀、吹扫管路、分析仪进气阀、工艺分支管路;MH‑08‑MRG‑316L‑EP 是气柜标配型号。
真空设备:真空腔体旁路、真空计隔离、检漏口阀门,FRG 波纹管版本适配高真空长期工况。
锂电行业:高纯惰性气体、腐蚀性气体输送。
化工实验室:有毒、易挥发、严禁外泄介质管路。
分析仪器、科研设备、原子能相关取样与切断管路。