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| 品牌 | ohnobellows/大野贝罗 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
日本OHNO BELLOWS大野加强型手动波纹管阀MS 系列为大通流加强型手动波纹管阀,同通径下流通能力远大于 DE、MH 系列;阀体基座加强,抗压力交变;定位工艺主管路,兼顾切断 + 大流量精细调节;对应气动版本为MSG 系列。
采用 OHNO 原厂无缝一体成型金属波纹管,波纹管上下焊接,把阀杆运动机构和工艺流体腔体wan全隔离,无填料压盖密封。
旋转多圈手轮,阀杆做纯上下直线运动,波纹管跟随拉伸、压缩变形;
手轮向下旋,阀芯压紧阀座实现关断;向上旋开流道导通;
介质封闭在波纹管内侧,无阀杆外泄漏通道,外部大气也不会倒灌进入管路;
多圈手轮,可全开全关,也可做连续精细节流,兼具截止阀 + 针阀功能;
氦检漏外漏率:≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s,满足高纯、有毒介质、超高真空工况。
示例:MS‑08‑BG‑316L‑EP
MS:系列代号,加强da通流手动波纹管阀
04/06/08/10:公称通径 DN4、DN6、DN8、DN10
波纹管后缀(DE/MH 通用)
MRG:标准波纹管,通用工况
BG:加强波纹管(MS 常用),耐压力交变、频繁启闭、疲劳寿命高
FRG:高柔性波纹管,高真空、低压循环
TWG:薄型紧凑型,安装空间受限
316L:阀体 SUS316L;可选 Hastelloy‑C 哈氏合金,适配强腐蚀介质
EP:流道电解抛光,半导体高纯(Ra≤0.25μm);无 EP 为 BA 光亮退火研磨
MS‑04‑BG‑316L‑EPMS‑06‑MRG‑316L‑EPMS‑06‑BG‑316L‑EPMS‑08‑MRG‑316L‑EPMS‑08‑BG‑316L‑EP(主力常用)MS‑10‑BG‑316L‑EPMS‑10‑FRG‑316L‑EP
接口可定制:VCR 公 / 母头、BW 自动对焊、卡套接头;支持两端异径接口定制。
| 参数项目 | MS 系列规格 |
|---|---|
| 驱动方式 | 手动多圈手轮 |
| 公称通径 | DN4、DN6、DN8、DN10 |
| Cv 流量系数 | DN4:0.35;DN6:0.52;DN8:0.75;DN10:0.95 |
| 阀体材质 | 标准 SUS316L;可选 Hastelloy‑C |
| 阀座密封 | 标准 PCTFE/PTFE;可选聚酰亚胺硬密封 |
| 常温最大工作压力 | 3.5MPa(35bar) |
| 真空能力 | 可达超高真空 UHV,支持烘烤除气 |
| 工作温度 | PCTFE 密封:‑20℃ ~ +90℃ |
| 氦检外漏率 | ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s |
| 内表面处理 | BA 研磨 / EP 电解抛光 |
| 对应气动款 | MSG 系列 |
同通径流通最大,压降更低,主管供气不会造成明显节流损失。
阀体基座结构加强,耐受压力波动、频繁启停,抗疲劳优于 MH、DE。
波纹管原厂无缝制造,单阀可追溯,支持返厂更换波纹管维修。
无填料密封,阀杆零外漏,几乎免维护,不用定期压紧填料;适合有毒、可燃特种气体。
EP 版本流道低微粒析出,运动部件不接触工艺介质,保障高纯流体洁净度。
支持全开全关,同时可做大流量下精细流量调节。
半导体特气系统:特气柜主供气支路、大流量工艺气管路、吹扫主管路;MS‑08‑BG‑316L‑EP 为主管路常用阀。
真空设备:大流量真空旁路、腔体主隔离阀,FRG 波纹管适配长期高真空运行。
锂电行业:大流量高纯惰性气体、腐蚀性气体输送主管。
化工:有毒、易挥发、严禁外泄介质的中小口径主管路。
科研设备、分析仪器,需要大流量同时兼顾手动调节切断的工艺管路。