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现货SEM坂本SELN-011B双轴精密数字水平仪

简要描述:现货SEM坂本SELN-011B双轴精密数字水平仪
这款双轴数字水平仪(有线)是一款高精度、轻便的水平仪。与传统水平仪相比,其数字显示屏使现场调整更加便捷。此外,由于显示屏和水平仪通过电线连接,因此可以远距离进行测量。其轻巧的设计使其能够在精密区域(例如晶圆加工区域)进行测量。显示器屏幕上会显示一个气泡,可以像使用气泡水平仪一样进行调整。数字显示屏消除了因操作人员个体差异造成的读数误差。

基础信息

产品型号

厂商性质

经销商

更新时间

2026-10-23

浏览次数

5
详细介绍
品牌SEM/坂本电机产地类别进口
应用领域能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备

日本坂本電機(SAKAMOTO SEM)有线分体式 X/Y 双轴精密数字水平仪,主打半导体无尘车间精密载台、光学平台调平,替代传统气泡水平仪,消除人工目视读数偏差。

现货SEM坂本SELN-011B双轴精密数字水平仪规格参数

项目参数
型号SELN-001B(有线基础款,不带存储;带存储款为 SELN-011B)
测量轴X/Y 双轴同步测量
测量量程X:±0.3°,Y:±0.3°,超过量程显示 OVER
零点重复精度≤±0.001°(≈17.5μm/m)
显示分辨率0.0001°,三档切换:0.01° / 0.001° / 0.0001°
A/D 原始分辨率0.000025°
响应速度≤50ms
传感器(SUS 底座)Φ50×H19mm,重量 70g
显示主机96×35×145mm,约 280~392g
显示屏4.3 英寸彩色 LCD 触控屏 480×272
标配线缆2m 屏蔽线,可选定制 5m 长线
供电DC6V 适配器(标配) / 4 节 AA 电池(选配,现场移动使用)
工作温度-10℃ ~ +50℃
输出USB 实时数据输出;无内置存储(SELN-011B 才带 SD 卡存储)
底座可选材质SUS 不锈钢(标准)、铝合金、铸件、陶瓷底座
单位切换角度 deg /mm/m
判定功能自定义合格公差圈,屏幕 GOOD/NG 直观判定
合规RoHS 对应

现货SEM坂本SELN-011B双轴精密数字水平仪产品特点

  1. 分体有线结构:探头和显示主机分离,屏蔽信号线稳定;探头小巧轻薄,可伸入腔体、夹层、晶圆腔等视线遮挡、狭小密闭位置,主机放在外部远程观察调平,长线版本适配大型基座、高空机位SAKAMOTO E...。

  2. 超轻传感器 70g:轻于 300mm 晶圆重量,放在机器人手臂、薄载台不会压弯结构造成二次形变,避免 “测量本身改变姿态" 的误差,是半导体机械手调平核心优势.。

  3. 气泡模拟图形界面:屏幕复刻传统圆形气泡水平仪,红点实时显示倾角,绿色圈为设定公差,新人上手快,统一全厂调平判定标准,消除不同操作人员读数差异.。

  4. 双轴同时调平:X/Y 同时出数,不用反复单轴来回校准,减少累积误差,大幅缩短设备安装、维保调平工时。

  5. 洁净工业适配:标准 SUS 研磨底座、低析出防静电设计,适配无尘室;宽温,抗车间常规电磁干扰,适合恒温 / 微振动精密工况。

  6. 灵活定制:线缆长度、底座材质、底座厚度可定制,适配不同工装基准面SAKAMOTO E...。

注意:SELN-001B不带数据保存;需要记录、导出历史测量数据选 SELN-011B;无线版本为 SELN-121BM / SELN-131BM。

适用工况

  • 环境:无尘车间(Class1000、Class100 等半导体洁净房)、恒温实验室、精密机加工车间;

  • 环境限制:避免强冲击、强震动、强酸强碱腐蚀;测量前建议预热 30 分钟保证长期稳定;传感器底面、被测基面必须擦拭干净,粉尘会引入微米级误差;

  • 振动:适合低微振环境;剧烈振动场景不推荐;

  • 安装:线缆自重会拉动探头,长线使用建议悬空走线,不要拖拽传感器。

运用场景(核心客户)

  1. 半导体(主力场景)光刻机、刻蚀、PVD/CVD 镀膜设备、晶圆载台、晶圆机械手、抛光 CMP 平台、探针台、固晶机、键合机调平;晶圆腔体内部狭小空间调平。

  2. 光学 & 激光行业光学平台、干涉仪、激光加工机、曝光机、高精度检测台、影像测量仪基准校准。

  3. 精密机床 & 自动化CNC 五轴机床床身、龙门设备、直线电机运动平台、机器人底座、桁架设备安装验收与定期点检。

  4. 检测实验室 / 计量三坐标基座、精密测试工装、高精度工装治具水平标定。

  5. 其他装备真空设备机架、精密印刷设备、航天测试工装、毫米波雷达校准台。


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