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| 品牌 | SEM/坂本电机 | 产地类别 | 进口 |
|---|---|---|---|
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
日本坂本電機(SAKAMOTO SEM)有线分体式 X/Y 双轴精密数字水平仪,主打半导体无尘车间精密载台、光学平台调平,替代传统气泡水平仪,消除人工目视读数偏差。
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 型号 | SELN-001B(有线基础款,不带存储;带存储款为 SELN-011B) |
| 测量轴 | X/Y 双轴同步测量 |
| 测量量程 | X:±0.3°,Y:±0.3°,超过量程显示 OVER |
| 零点重复精度 | ≤±0.001°(≈17.5μm/m) |
| 显示分辨率 | 0.0001°,三档切换:0.01° / 0.001° / 0.0001° |
| A/D 原始分辨率 | 0.000025° |
| 响应速度 | ≤50ms |
| 传感器(SUS 底座) | Φ50×H19mm,重量 70g |
| 显示主机 | 96×35×145mm,约 280~392g |
| 显示屏 | 4.3 英寸彩色 LCD 触控屏 480×272 |
| 标配线缆 | 2m 屏蔽线,可选定制 5m 长线 |
| 供电 | DC6V 适配器(标配) / 4 节 AA 电池(选配,现场移动使用) |
| 工作温度 | -10℃ ~ +50℃ |
| 输出 | USB 实时数据输出;无内置存储(SELN-011B 才带 SD 卡存储) |
| 底座可选材质 | SUS 不锈钢(标准)、铝合金、铸件、陶瓷底座 |
| 单位切换 | 角度 deg /mm/m |
| 判定功能 | 自定义合格公差圈,屏幕 GOOD/NG 直观判定 |
| 合规 | RoHS 对应 |
分体有线结构:探头和显示主机分离,屏蔽信号线稳定;探头小巧轻薄,可伸入腔体、夹层、晶圆腔等视线遮挡、狭小密闭位置,主机放在外部远程观察调平,长线版本适配大型基座、高空机位SAKAMOTO E...。
超轻传感器 70g:轻于 300mm 晶圆重量,放在机器人手臂、薄载台不会压弯结构造成二次形变,避免 “测量本身改变姿态" 的误差,是半导体机械手调平核心优势.。
气泡模拟图形界面:屏幕复刻传统圆形气泡水平仪,红点实时显示倾角,绿色圈为设定公差,新人上手快,统一全厂调平判定标准,消除不同操作人员读数差异.。
双轴同时调平:X/Y 同时出数,不用反复单轴来回校准,减少累积误差,大幅缩短设备安装、维保调平工时。
洁净工业适配:标准 SUS 研磨底座、低析出防静电设计,适配无尘室;宽温,抗车间常规电磁干扰,适合恒温 / 微振动精密工况。
灵活定制:线缆长度、底座材质、底座厚度可定制,适配不同工装基准面SAKAMOTO E...。
注意:SELN-001B不带数据保存;需要记录、导出历史测量数据选 SELN-011B;无线版本为 SELN-121BM / SELN-131BM。
环境:无尘车间(Class1000、Class100 等半导体洁净房)、恒温实验室、精密机加工车间;
环境限制:避免强冲击、强震动、强酸强碱腐蚀;测量前建议预热 30 分钟保证长期稳定;传感器底面、被测基面必须擦拭干净,粉尘会引入微米级误差;
振动:适合低微振环境;剧烈振动场景不推荐;
安装:线缆自重会拉动探头,长线使用建议悬空走线,不要拖拽传感器。
半导体(主力场景)光刻机、刻蚀、PVD/CVD 镀膜设备、晶圆载台、晶圆机械手、抛光 CMP 平台、探针台、固晶机、键合机调平;晶圆腔体内部狭小空间调平。
光学 & 激光行业光学平台、干涉仪、激光加工机、曝光机、高精度检测台、影像测量仪基准校准。
精密机床 & 自动化CNC 五轴机床床身、龙门设备、直线电机运动平台、机器人底座、桁架设备安装验收与定期点检。
检测实验室 / 计量三坐标基座、精密测试工装、高精度工装治具水平标定。
其他装备真空设备机架、精密印刷设备、航天测试工装、毫米波雷达校准台。