简要描述：DIC 迪爱生EF-120外部灌流型脱气供气模组
用DIC独特的中空纤维膜，可以进行ppb级的脱气。此外，通过采用具有致密表皮层的中空纤维，可以将凝结水的产生控制在较低水平。 另外，DIC中空纤维膜模组 SEPAREL也适用于气体溶解（供气）

原理：DIC 自研SS 致密表皮中空纤维膜，只透气、不透水；双向两用：壳侧抽真空 = 脱气（除 O₂、CO₂）；壳侧通入目标气体 = 供气溶气（N₂/CO₂/H₂/O₂溶解入水）。

eFLOW 是独立 CO₂供气防静电整机装置，一般不和 PF/EF 混为一类模组

DIC 迪爱生EF-120外部灌流型脱气供气模组全部特点

1. ppb 级超深度脱气：超纯水可稳定做到 ppb 级残氧，满足半导体高洁净湿法工艺，消除氧化水印、针孔缺陷

2. 致密皮层 SS 膜优势：大幅减少水蒸气渗透至真空侧，冷凝水少，减轻真空泵负荷、延长真空泵寿命，不易返水污染真空管路

3. 脱气 / 供气二合一：同一模组，切换真空 / 供气气源，既可脱氧脱碳，也可制备溶气功能水（N₂水、H₂水、CO₂水）

4. 低压力损失：内部流道优化，流阻低，对供水泵扬程要求低，节能；PF 为内灌流（水走膜丝内腔），EF 为外灌流（水走膜丝外侧）两种结构可选

5. 高洁净、低析出：纯水专用材质，无离子析出，适配 UPW 超纯水；PF-001D 还可兼容含少量表面活性剂的清洗水

6. 小型模块化：体积紧凑，可直接嵌入清洗机、循环水路、分析仪器内部；立式、卧式均可安装，支持在线反冲洗维护，不易堵膜

7. 连续在线处理：可串联在循环管路，在线持续稳定处理，不需要储罐静置脱气，适合连续产线

8. 安全无漏液：膜丝只透气不透水，正常工况下水不会窜入真空 / 气路侧

DIC 迪爱生EF-120外部灌流型脱气供气模组标准工况（PF、EF 水用模组）

• 液体介质：超纯水 DIW / UPW、纯化水、低表面活性剂清洗水

• 耐压：0.2～0.3 MPa（2～3 bar），EF-MICRO/AG 小型号 0.2MPa；PF 主流 0.3MPa

• 使用温度：2～45℃（常规推荐 5～40℃），超温会加速水蒸气透过、降低膜寿命

• 真空驱动条件：常用真空度 2.7 kPa（产品样本基准测试条件）

• 真空侧：配干式真空泵（禁止油返污染）

• 供气侧：洁净干燥气源（N₂/CO₂/H₂等，压力控制低于液体侧压力，防止反渗）

• 水质前提：前置精密过滤，去除颗粒，保护中空纤维膜不堵塞

运用场景

1. 半导体（核心场景）：8/12 寸晶圆单片清洗、Dicing 切割清洗、Scrubber 刷片、掩模版 / 光罩清洗，降低残氧，抑制硅片氧化，消除水洗水印不良

2. 显示面板（LCD/OLED）：玻璃基板高压喷淋清洗、超声波清洗循环水脱泡

3. 精密光学：镜头、光学玻璃、滤光片湿法清洗

4. 分析仪器：HPLC 液相、离子色谱流动相纯水脱气，消除气泡造成基线漂移

5. 新能源：锂电池配料纯水、电池极片清洗水脱氧

6. 锅炉 / 纯水系统：锅炉给水脱氧防腐、纯水循环管路除 CO₂控 pH

7. 功能水制备：在线制备溶氮水、溶氢水；CO₂防静电水优先搭配 DIC eFLOW 整机

8. 制药：注射纯化水、药典级纯水在线脱气

主要用途

• 超纯水的脱氧、脱二氧化碳

• 锅炉供水的脱氧

• 清洗用功能水的制造（CO2、H2、N2、O2溶解）　※请使用eFLOW供应CO2。

• 超声波清洗机用水的除泡处理