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EBARA(荏原制作所)是日本百年工业ju头,干式真空泵是其核心产品线之一
一、品牌背景全称:荏原制作所EBARACORPORATION,1912年成立,日本泵业long头企业真空泵业务:深耕干式螺杆/爪式/涡旋式干泵,半导体、精密制造领域认可度ji高定位:中**日系干式真空泵,对标爱发科ULVAC、Kashiyama樫山、ANESTIWATA岩田二、核心类型与结构(主流3大系列)1.爪式干式真空泵(主流:EV-A/EV-P系列)结构:双爪转子,无接触、无油、无摩擦特点:耐粉尘、耐水汽、耐轻微腐蚀,抽气平稳,维护简单适用:一般工业、镀膜、包装、电子、...
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半导体行业真空泵核心使用企业清单
一、晶圆制造企业(真空泵核心采购方)(一)中国大陆晶圆厂1.中芯国际○核心业务:14nm/7nm先进逻辑芯片、12英寸晶圆代工,覆盖成熟制程与先进制程○真空泵应用场景:EUV光刻、干法刻蚀、CVD/ALD薄膜沉积、离子注入、晶圆清洗、去胶全工艺○适配泵型:干式螺杆泵、磁悬浮分子泵、低温泵、超高真空组合机组○合作真空供应商:中科科仪、爱德华、普发、莱宝2.长江存储○核心业务:3DNAND闪存芯片研发、12英寸晶圆量产○真空泵应用场景:闪存晶圆薄膜沉积、刻蚀、清洗、键合工艺○适配...
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关于干式真空泵的详细介绍
以下是关于干式真空泵的详细介绍:基本信息定义:干式真空泵(DryVacuumPump)也称无油真空泵,是为满足工业生产对真空环境越来越严格的要求而发展起来的新型真空获得设备,工作时泵腔内无油或其他工作介质。发展历程:17世纪,葛利克、伽利略等科学家开始研究人造真空,其使用的装置是干式真空泵的简易版本。1985年,日本研发并生产了一台爪型式真空泵,应用于半导体产业链中。1994年,中国自主研发了**台爪式真空泵,开启了中国干式真空泵的自主研发道路。工作原理与分类容积式干式真空泵...
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预测全球300mm晶圆厂设备支出2026年和2027年将实现两位数增长
SEMI总裁执行官AjitManocha表示:“AI正在重塑半导体制造投资的规模,随着全球300mm晶圆厂设备支出预计在2027年突破1500亿美元,行业持续性的投入,着力构建AI时代所需的先进产能与韧性供应链。”Logic和Micro领域预计将在2027年至2029年以总投资2280亿美元lingpao设备扩张,主要得益于强劲的晶圆代工行业需求,以及2nm以下**制程产能投资的推动。先进制程技术对于提升芯片性能和能效至关重要,以满足各类AI应用严格的芯片设计要求。预计从20...
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2026年一季度全球硅晶圆出货量同比增长13%
AI驱动需求及广泛复苏迹象推动全球硅晶圆出货增长美国加州时间2026年4月29日,根据SEMI旗下的SiliconManufacturersGroup(SMG)发布的硅片行业季度分析报告显示,2026年一季度全球硅晶圆出货量同比增长13.1%,达到3275百万平方英寸(MSI),2025年同期为2896百万平方英寸。环比来看,出货量较2025年第四季度的3437百万平方英寸下降4.7%,符合典型的季节性规律。SEMISMG主席、胜高株式会社(SUMCO)销售与市场事业部总经理...
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真空泵的运用场景
真空泵全行业应用场景细分(按行业+工艺+适配泵型,直接对标Taiko/Edwards/ULVAC)一、半导体/芯片制造(干式真空泵核心主战场)1.晶圆前段制程光刻:真空腔体、真空吸附、环境真空刻蚀Etch:反应腔体抽真空、废气排放薄膜沉积PVD/CVD/ALD:高真空成膜、工艺排气离子注入:超高真空离子加速、腔体维持扩散/退火:高温炉管真空、脱气除杂清洗去胶:真空干燥、真空脱泡适配泵:螺杆干泵BEH/TDP、罗茨机组RMC、大型TRIC、多级真空机组2.晶圆后段/封测晶圆减薄...
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真空泵未来五年(2026-2030)应用场景全景分析报告
一、半导体行业(核心增量赛道,年均增速20%+)核心应用场景1.晶圆制造:EUV光刻、干法刻蚀、CVD/ALD薄膜沉积、离子注入、晶圆清洗、去胶工艺2.先进制程:3nm/2nm及以下制程量产、12/18英寸大尺寸晶圆产线建设3.第三代半导体:SiC/GaN外延生长、功率半导体芯片制程加工4.先进封装:2.5D/3D封装、晶圆键合、TSV通孔、扇出型封装5.检测量测:半导体精密检测、电子显微镜、探针台真空环境搭建场景需求特点对真空度要求(10⁻⁴~10⁻⁸Pa),具备高洁净、无...
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