新品发布：DONGBANG 东方机械 DBVP150 干式变螺距螺杆真空泵

产品简介

DONGBANG 东方机械（DONGBANG PLANTECH）源自韩国，深耕干式螺杆真空装备四十余年，是半导体、新材料领域干式真空泵核心制造厂商。本次全新发布DBVP150 干式变螺距螺杆真空泵，属于 DBVP 系列中小流量主力机型，额定抽速 150m³/h，面向半导体前段制程、精密镀膜、锂电脱气、精细化工等洁净工艺场景，为产线提供无油洁净前级真空源，整机通过 CE、TUV 安全认证，适配国产化替代项目，可直接配套晶圆、陶瓷元器件、光模块相关真空工艺。

DBVP150 采用变螺距双螺杆干式结构，泵腔内部无油、无水作为工作介质，阴阳螺杆依靠精密同步齿轮反向旋转，转子之间、转子与泵壳之间保持微米级间隙，无金属接触磨损，从根源消除油蒸汽返流污染腔体、晶圆、精密元器件的风险。

工作原理

吸气端螺距大、容积大，快速吸入工艺气体；沿转子轴向向排气端，螺距逐步收窄，腔体容积连续缩小，实现平缓渐进式压缩，区别于等螺距螺杆泵的瞬间压缩。压缩热在转子内部直接水冷带走，而非仅依靠外壳夹套冷却；压缩完成后气体由排气口排出，全程干式无介质压缩。支持在线蒸汽冲洗，可处理含可凝蒸汽、微量粉尘、轻度腐蚀性工艺气体。

工况核心特点

1. 洁净无油，杜绝工艺污染：泵腔干式运行，无润滑油、无工作水，不会产生油雾返流，满足半导体洁净车间、镀膜腔体高洁净度要求，保障晶圆、陶瓷基板、光器件成品良率。

2. 转子内置水冷，温升可控：冷却水直接通入螺杆转子本体，在发热源头带走压缩热，抑制转子热膨胀，避免高温介质碳化、转子抱死，可长时间 7×24h 不间断连续运行，稳定性强。

3. PTFE 特氟龙防腐涂层：螺杆转子与泵腔内壁喷涂耐腐特氟龙涂层，适配酸性气体、溶剂蒸汽、可凝性介质，拓展化工、新能源等腐蚀工况使用边界。

4. 宽压力区间稳定抽气：可从大气压连续抽至ji限真空，全压力区间功耗波动小，不会随真空度提升出现功耗飙升，节能优势显著；取消前置空气过滤器，切断工艺介质逆流路径，防爆工况安全可靠。

5. 安装便捷，维护简单：采用 IEC 标准法兰直连电机，现场安装无需对轴校中；内部结构简化，非接触转子设计，磨损极低，维保周期长，降低产线停机损失。

适用工况：半导体 CVD、刻蚀、溅射前级抽真空；陶瓷烧结、真空镀膜；锂电浆料脱泡、溶剂回收；精细化工反应釜负压、蒸馏干燥；实验室与小型设备单机真空系统。