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BROOKS布鲁克斯 GF流量控制器和流量计 GF100 系列金属密封质量流量控制器和仪表性能：快速响应和可重现的高纯度/超高纯度过程气体输送。专为半导体、MOCVD 等其他气体流量控制应用设计，GF100 系列在可靠性方面优于半导体行业标准水平，可确保测量结果可重现并且长时间使用后性能依然高度稳定。一台采用标准 MultiFlo™ 技术的 MFC 即可满足数千种气体类型和各种量程组合的需求，无需
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SLAMF64厂商性质
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BROOKS布鲁克斯 SLAMF流量控制器和流量计 SLAMf 系列弹性体密封压力控制器均能够表现出经验证的 SLA5800 系列热质量流量计和控制器的高精度特性和长期稳定性。专门设计的 NEMA4X/IP66 外壳可保护产品优良的数显电子元件并确保气体和液体质量流量压力（对过程要求严格）测量和控制的稳定和准确。
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SLAMF63厂商性质
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BROOKS布鲁克斯 SLAMF流量控制器和流量计 SLAMf 系列弹性体密封压力控制器均能够表现出经验证的 SLA5800 系列热质量流量计和控制器的高精度特性和长期稳定性。专门设计的 NEMA4X/IP66 外壳可保护产品优良的数显电子元件并确保气体和液体质量流量压力（对过程要求严格）测量和控制的稳定和准确。
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BROOKS布鲁克斯 SLAMF流量控制器和流量计 SLAMf 系列弹性体密封压力控制器均能够表现出经验证的 SLA5800 系列热质量流量计和控制器的高精度特性和长期稳定性。专门设计的 NEMA4X/IP66 外壳可保护产品优良的数显电子元件并确保气体和液体质量流量压力（对过程要求严格）测量和控制的稳定和准确。
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BROOKS布鲁克斯 SLAMF流量控制器和流量计 SLAMf 系列弹性体密封压力控制器均能够表现出经验证的 SLA5800 系列热质量流量计和控制器的高精度特性和长期稳定性。专门设计的 NEMA4X/IP66 外壳可保护产品优良的数显电子元件并确保气体和液体质量流量压力（对过程要求严格）测量和控制的稳定和准确。
