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UXM-501MD -
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2026-07-20 -
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产品描述
进口USHIO牛尾 UXM 系列汞氙短弧灯 USHIO 牛尾 UXM 系列｜汞氙短弧灯（量产光刻主力，对比 USH 纯汞灯） 核心定义：Hg-Xe 汞氙混合光源 = 深紫外 230~320nm + 365nm (i-line) 强峰 + 可见光连续光谱，量产大面积曝光；USH 是纯汞、小功率实验室 / 返修，UXM 量产线标配
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USHIO 牛尾 USH 系列超高压短弧纯汞灯 USHIO 牛尾 USH 系列（超高压短弧纯汞灯） 产品本质：纯汞无氙、极短电弧 (0.5~3mm) 点光源，主峰 365 (i-line)/405 (g-line)/436nm，半导体小曝光、点固化、晶圆检测专用