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| 品牌 | KITZ/日本 | 种类 | 其他 |
|---|---|---|---|
| 压力环境 | 其他 | 工作温度 | 真空 |
| 流动方向 | 其他 | 零部件及配件 | 配件 |
| 类型(通道位置) | 其他 | 结构形式 | 其他 |
| 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
日本进口KITZ开滋BZD清洁蝶阀
日本进口KITZ开滋BZD清洁蝶阀
BZD 为半导体级高纯双偏心晶圆（对夹）蝶阀，大口径大通流，替代 IBC/IBD/IBE 波纹管阀用于工厂排风、大流量吹扫；双偏心结构，全开时蝶板脱离 PTFE 阀座，降低颗粒产生；支持气动自动、手动；连接以 RFXT 对夹法兰为主，口径 50A‑400A。
| 项目 | 规格 |
|---|---|
| 驱动 | 气动自动（单作用 NC 常闭）；手动齿轮 MS；可配电动执行器 |
| 公称口径 | 50A、65A、80A、100A、150A、200A、250A、300A、400A |
| *大工作压力 | 0.98MPa(G) |
| 流体温度 | -10~80℃；PTFE 阀座 |
| 环境温度 | -10~60℃ |
| 阀体材质 | SUS316L（标准）；可选 304；接液面抛光 + 超净脱脂处理，减少颗粒附着 |
| 结构形式 | 双偏心晶圆对夹 Wafer 结构；全开蝶板与阀座wan全脱离，降低摩擦颗粒，延长阀座寿命 |
| 阀座 | PTFE（耐久型）；密封接触面加宽，低扭矩实现可靠密封 |
| Cv 参考值 | 50A=70；80A=175；100A=280；150A=650；200A=1100；300A=2400；400A=4000 |
| 泄漏等级 | 气泡级密封；He 内漏≤1×10⁻⁹ atm・cc/s；阀杆填料外漏≤1×10⁻⁷ Pa・m³/s（填料密封，非波纹管零外漏） |
| 驱动气源 | 0.45‑0.6MPa (G) 高纯 N₂/ 干空气 |
| 可选配件 | 阀位反馈开关；定位器（调节型）；ISO5211 执行器安装法兰 |
| 维修特性 | 阀座填料现场可更换，无需整阀更换 |
| 型号 | 驱动 | 口径 | Cv | 接口 | 特点 | 应用场景 |
|---|---|---|---|---|---|---|
| BZD50CS‑RFXT‑EP‑316L | 气动 NC | 50A | 70 | 晶圆对夹法兰 | *小 BZD，EP 抛光 | 排气支管、吹扫管路 |
| BZD80CS‑RFXT‑EP‑316L | 气动 NC | 80A | 175 | 晶圆对夹法兰 | 主力常用口径 | Fab 排风、大流量吹扫 |
| BZD100CS‑RFXT‑EP‑316L | 气动 NC | 100A | 280 | 晶圆对夹法兰 | 工艺排气主管支路 | 工厂排风系统 |
| BZD150CS‑RFXT‑EP‑316L | 气动 NC | 150A | 650 | 晶圆对夹法兰 | 大通流排风 | 主排气管线 |
| BZD200CS‑RFXT‑EP‑316L | 气动 NC | 200A | 1100 | 晶圆对夹法兰 | 大口径排风总管 | 厂区排风主干线 |
| BZD300CS‑RFXT‑EP‑316L | 气动 NC | 300A | 2400 | 晶圆对夹法兰 | 超大口径排风 | 厂务总排风 |
手动参考型号：BZD80MS‑RFXT‑EP‑316L，齿轮手操作，省力扭矩设计。
BZD：清洁高纯蝶阀；CS = 气动 NC 常闭；MS = 手动齿轮；
RFXT=Wafer 晶圆对夹法兰；EP = 电解抛光；STD 机械抛光；316L 阀体
半导体厂务大流量排风、工艺废气排风系统、设备主排气、洁净厂房大量吹扫供气。
面板、光伏大流量惰性气体吹扫管路；可做开关切断，也可配定位器做节流调节。
优先用于排风 / 吹扫；不建议用于剧毒、高危特气主路（阀杆填料存在外漏风险，高危特气优先 IBC/IBD/IBE 波纹管阀）。
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