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| 品牌 | MIYUKI/美幸辉 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
MIYUKI 美幸辉CVD/薄膜沉积腔体恒压控制器
MIYUKI 美幸辉CVD/薄膜沉积腔体恒压控制器
特点：
01. 通电后自动返回原位。
02.2 传感器（真空计）和 7 组存储功能（PB、PID）可实现宽范围压力控制。
03. 支持通过触摸面板、I/O 和 RS-232C 串行通信进行操作。
04. 可连接UPS（不间断电源）。（断电时阀门关闭）
05. 除了显示当前压力外，还提供控制阀开度的简化显示。
06. PIDAT 通过七个选择级别快速优化 AT 参数。
07. 控制精度为设定压力的±0.1%。
08. 配备用于真空计的直流±15V和直流24V电源。
09. 尺寸为 19 英寸货架的一半，便于存放。
参数：
| 控制器模型 | MGCS-11 |
|---|---|
| 压力控制范围 | 0.1–10 5帕 |
| 适用控制阀 | 酒吧/酒吧 |
| 显示/操作 | 单色4英寸液晶触摸屏 |
| 输入/输出 | 输入：压力控制、开启、关闭、开启程度控制、步进操作、断电信号位选择 1、2、4、真空表 2 种选择 输出：压力控制进行中，开启控制进行中，报警，开启，关闭，检测到断电，准备就绪，步进模式，位已选择 1、2、4，真空表 2 已选择 |
| 模拟输入/输出 | 输入：压力/开度设定值 输出：当前压力，当前开度 |
| 真空计（传感器）输入 | 2 / 直流 0-10V |
| 串行通信 | RS-232C |
| 电力中断响应 | 可连接UPS（不间断电源）。（Dsub9P） |
| 输入功率 （50Hz/60Hz） | 电压：交流100V至230V（单相） 功耗：最大 180W |
| 尺寸（宽×深×高） | 241毫米 x 344毫米 x 143.5毫米 |
| 大量的 | 4公斤 |
| 环境条件：温度 | 0-55℃（适用于室内安装） |
| 环境条件：湿度 | 85%或以下 |
| 配件 | 100V电源线（2米） |
| 线缆需另购 | 需要 电机电缆（3米、5米、10米） 和锁止器电缆（3米、5米、10米） 。*仅限GAR车型需要。 |
半导体工艺（主力）
PVD、CVD 薄膜沉积腔体恒压控制
等离子刻蚀、离子注入腔体真空稳压
半导体研发设备、工艺开发腔体，需要多组压力配方快速切换
光学镀膜行业
光学镜片、装饰膜真空蒸镀，稳定腔压保证膜层均匀性
科研实验室
各类科研真空腔体、材料实验真空系统，宽范围压力闭环控制
其他工业真空
锂电材料真空烧结、脱泡；特种材料热处理真空腔体；部分制药真空工艺背压控制
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