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| 品牌 | MIYUKI/美幸辉 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
MIYUKI 美幸辉半导体腔体压力控制控制器
MIYUKI 美幸辉半导体腔体压力控制控制器
特点
■ 通电后自动返回初始位置。
■ 支持从参数设置到通过 RS-485 进行操作的所有功能。
■ 双组 PID 记忆功能可实现快速自动压力控制。
■ 控制精度为设定压力的±0.5%。
■ 除了标准的 DC 0-5V 和 DC 0-10V 信号外，真空计信号还支持 4-20mA 信号作为可选信号。
■ 通过指定单元编号，最多可以连接 7 个单元。
规格：
| 控制器模型 | MG-mini485 |
|---|---|
| 压力控制范围 | 1-10 5 帕 |
| 控制阀 | 加尔/酒吧 |
| 手术 | RS-485 通信（2 线），I/O |
| RS-485功能 | 型号设置、真空表设置（量程，Pa/Torr）、开启/关闭操作、压力控制、PIDAT、PID选择、PID值更改、开启度控制、最大开启度、确认命令、错误命令 |
| 单元号设置 | 1-7 |
| RS-485接口 | 部分：19200，数据位：8，起始位：1，停止位：1，奇偶校验：偶校验，流控制：无，校验和：无，分隔符： |
| 输入/输出 | 输入：开、关、复位、电机空转 输出：报警 |
| 真空计（传感器）输入 | 直流0~5V，直流0~10V，4~20mA* |
| 停电期间阀门运行 | GAR：停在断电前的位置（由电机的电磁制动器固定） BAR：停在断电前的位置（标准电机无法固定） |
| 输入功率 | 电压：直流24V±5% 功耗：最大90W |
| 尺寸（宽×深×高） | 110毫米 x 260毫米 x 145毫米 |
| 大量的 | 1.6公斤 |
| 周围环境条件 | 温度：0 至 50℃（室内安装） 湿度：90% 或以下 |
| 配件 | 安装支架 |
| 线缆需另购 | 电机电缆（3米、5米、10米） 电磁刹车线（3米、5米、10米）*仅GAR需要。 |
中小真空镀膜设备：光学镀膜、装饰膜蒸镀，多工位并行腔体稳压控制。
科研 / 高校实验腔体：预算有限、由 PLC 统一管控的真空实验系统。
工业真空工艺：锂电脱泡、材料热处理、小型等离子工艺腔体背压控制。
OEM 成套设备配套：设备空间紧张、多腔并行，需要多台压力控制器组网。
非gao端半导体设备：适合研发试验设备；大规模量产半导体腔体优先选 MGCS‑11（±0.1% 精度、7 组 PID、本地触屏）
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