IKC入江工研激光精密焊接波纹管
IKC入江工研激光精密焊接波纹管
IKC 焊接波纹管是KOSLAZE 甲阀、Gulliver 格列佛、Marina 玛琳娜阀门的动力核心，属于超薄金属膜片精密叠焊成型元件，依靠轴向伸缩实现无摩擦密封驱动，是 IKC 全系列真空阀低粉尘、长寿命、超高真空密封的核心来源，分为焊接波纹管（Welded Bellows）、成型波纹管（Formed Bellows）两大品类，半导体阀门几乎全部采用焊接波纹管。

一、基础结构与工作原理

1、结构构造

由多层超薄金属圆膜片内圈、外圈交替激光精密焊接堆叠而成，两端焊接端盖 / 法兰；依靠轴向压缩、拉伸完成直线往复运动，全程无滑动、无机械摩擦。

2、核心作用（阀门场景）

隔离大气与超高真空：波纹管外侧常压、内侧腔体高真空，全金属零动密封，杜绝气体泄漏；
气动直线驱动：洁净气源挤压波纹管伸缩，带动阀板平移、抬升、锁紧；
低发尘：全程无摩擦，不会产生颗粒物污染晶圆腔体；
压差缓冲：抵消大气压压差，降低气缸驱动力。

3、动作限制

标准仅允许纯轴向伸缩，禁止扭转、径向偏移，否则极易疲劳开裂。

二、产品线大类划分

大类 1：标准焊接波纹管（阀门专用主力，NS/NCE 系列）

IKC 阀门原厂标配，分为裸波纹管单品、CF 法兰一体化波纹管2 种：

1）裸波纹管 NS 系列（阀体内部独立替换件）

型号命名：NS - 内径 - 外径 - 行程

常规行程：20mm、30mm，适配 KS-Ⅰ/KS-Ⅱ、GL 格列佛全系列闸阀；
主流常用型号：NS100150、NS100210、NS100270、NS100320；
用途：阀门原厂维保替换、非标阀定制内部机芯。

2）带 CF 超高真空法兰 NCE 系列（NCE2253、NCE3203）

两端一体焊接 Conflat 标准法兰，出厂预成型，直接对接真空腔体管路；

伸缩行程：2D (20mm)、3D (30mm)、K3D 加强高寿命款；
适配：Marina 圆形摆阀、真空管路补偿、机械手真空动密封。

大类 2：成型波纹管 CF 系列（管路减震补偿，不用于阀门驱动）

挤压一体成型，成本更低、寿命短（仅 1 万次），仅用于管路震动吸收、热形变补偿，不用于闸阀气缸驱动；常用规格：CF34、CF70、CF100、CF150；漏率≤\(1×10^\ \text^3/\text\)，短时烘烤最高 250℃。

大类 3：特殊定制波纹管

AM350 超高寿命款：高强度马氏体时效钢，极限寿命 1000 万次 +，12 英寸优良制程高频阀专用；
哈氏合金 / 钛合金耐腐蚀款：耐卤素、等离子腐蚀，刻蚀机阀门专用；
多层加厚波纹管：抗高压差，反向承压工况定制；
HT 耐高温波纹管：适配 200℃长期烘烤腔体。

三、材质分类与选型对照表

材质牌号	核心特性	适用场景
SUS316L（标配）	通用耐腐蚀、稳定性好、性价比高	常规半导体 CVD/PVD、8 英寸成熟制程阀门
AM350 时效钢	抗拉强度ji高、疲劳寿命翻倍	12 英寸高频启闭 KOSⅡ-D 双面甲阀，600~1000 万次
哈氏合金 C276	耐氟、氯等离子强腐蚀	刻蚀腔体、卤素工艺阀门
钛合金	轻量化、抗酸碱、极低放气	科研超高真空、航天设备

NS 系列裸焊接波纹管（闸阀原厂维保主力）

主流标准型号（单位：mm，行程默认 20mm，加长定制 30mm）

型号	内径 Φ	外径 Φ	适配阀门	基础寿命
NS1150A-1	100	150	GL 格列佛 6 寸、小型 KS-Ⅱ	500 万次 (SUS316L)
NS1150B-1	120	150	格列佛 8 寸标准版	550 万次
NS1210-1	160	210	KS-Ⅱ-8 平移气缸、Marina100A	600 万次
NS1270-1	206	270	KS-Ⅱ-12 抬升 / 锁紧气缸	600 万次
NS1320-1	240	320	KS-Ⅰ 一代 8/12 寸一体式气缸	450 万次
NS100150	100	150	紧凑型 CKS-Ⅱ-6/8	550 万次
NS100210	100	210	KS-Ⅱ-8 常规平移缸	600 万次
NS100270	100	270	KS-Ⅱ-12 主力气缸	650 万次
NS100320	100	320	KS-Ⅰ 大口径阀替换件	420 万次

上一篇NS1210-1IKC入江工研激光精密焊接波纹管

下一篇NS1320-1IKC入江工研激光精密焊接波纹管

在线留言

一、基础结构与工作原理

1、结构构造

2、核心作用（阀门场景）

3、动作限制

二、产品线大类划分

大类 1：标准焊接波纹管（阀门专用主力，NS/NCE 系列）

1）裸波纹管 NS 系列（阀体内部独立替换件）

2）带 CF 超高真空法兰 NCE 系列（NCE2253、NCE3203）

大类 2：成型波纹管 CF 系列（管路减震补偿，不用于阀门驱动）

大类 3：特殊定制波纹管

三、材质分类与选型对照表

NS 系列裸焊接波纹管（闸阀原厂维保主力）

主流标准型号（单位：mm，行程默认 20mm，加长定制 30mm）

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：

一、基础结构与工作原理

1、结构构造

2、核心作用（阀门场景）

3、动作限制

二、产品线大类划分

大类 1：标准焊接波纹管（阀门专用主力，NS/NCE 系列）

1）裸波纹管 NS 系列（阀体内部独立替换件）

2）带 CF 超高真空法兰 NCE 系列（NCE2253、NCE3203）

大类 2：成型波纹管 CF 系列（管路减震补偿，不用于阀门驱动）

大类 3：特殊定制波纹管

三、材质分类与选型对照表

NS 系列 裸焊接波纹管（闸阀原厂维保主力）

主流标准型号（单位：mm，行程默认 20mm，加长定制 30mm）

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：

NS 系列裸焊接波纹管（闸阀原厂维保主力）