IKC入江工研 CF法兰焊接波纹管
IKC入江工研 CF法兰焊接波纹管
IKC 焊接波纹管是KOSLAZE 甲阀、Gulliver 格列佛、Marina 玛琳娜阀门的动力核心，属于超薄金属膜片精密叠焊成型元件，依靠轴向伸缩实现无摩擦密封驱动，是 IKC 全系列真空阀低粉尘、长寿命、超高真空密封的核心来源，分为焊接波纹管（Welded Bellows）、成型波纹管（Formed Bellows）两大品类，半导体阀门几乎全部采用焊接波纹管。

一、基础结构与工作原理

1、结构构造

由多层超薄金属圆膜片内圈、外圈交替激光精密焊接堆叠而成，两端焊接端盖 / 法兰；依靠轴向压缩、拉伸完成直线往复运动，全程无滑动、无机械摩擦。

2、核心作用（阀门场景）

隔离大气与超高真空：波纹管外侧常压、内侧腔体高真空，全金属零动密封，杜绝气体泄漏；
气动直线驱动：洁净气源挤压波纹管伸缩，带动阀板平移、抬升、锁紧；
低发尘：全程无摩擦，不会产生颗粒物污染晶圆腔体；
压差缓冲：抵消大气压压差，降低气缸驱动力。

3、动作限制

标准仅允许纯轴向伸缩，禁止扭转、径向偏移，否则极易疲劳开裂。

二、产品线大类划分

大类 1：标准焊接波纹管（阀门专用主力，NS/NCE 系列）

IKC 阀门原厂标配，分为裸波纹管单品、CF 法兰一体化波纹管2 种：

1）裸波纹管 NS 系列（阀体内部独立替换件）

型号命名：NS - 内径 - 外径 - 行程

常规行程：20mm、30mm，适配 KS-Ⅰ/KS-Ⅱ、GL 格列佛全系列闸阀；
主流常用型号：NS100150、NS100210、NS100270、NS100320；
用途：阀门原厂维保替换、非标阀定制内部机芯。

2）带 CF 超高真空法兰 NCE 系列（NCE2253、NCE3203）

两端一体焊接 Conflat 标准法兰，出厂预成型，直接对接真空腔体管路；

伸缩行程：2D (20mm)、3D (30mm)、K3D 加强高寿命款；
适配：Marina 圆形摆阀、真空管路补偿、机械手真空动密封。

大类 2：成型波纹管 CF 系列（管路减震补偿，不用于阀门驱动）

挤压一体成型，成本更低、寿命短（仅 1 万次），仅用于管路震动吸收、热形变补偿，不用于闸阀气缸驱动；常用规格：CF34、CF70、CF100、CF150；漏率≤\(1×10^\ \text^3/\text\)，短时烘烤最高 250℃。

大类 3：特殊定制波纹管

AM350 超高寿命款：高强度马氏体时效钢，极限寿命 1000 万次 +，12 英寸优良制程高频阀专用；
哈氏合金 / 钛合金耐腐蚀款：耐卤素、等离子腐蚀，刻蚀机阀门专用；
多层加厚波纹管：抗高压差，反向承压工况定制；
HT 耐高温波纹管：适配 200℃长期烘烤腔体。

三、材质分类与选型对照表

材质牌号	核心特性	适用场景
SUS316L（标配）	通用耐腐蚀、稳定性好、性价比高	常规半导体 CVD/PVD、8 英寸成熟制程阀门
AM350 时效钢	抗拉强度ji高、疲劳寿命翻倍	12 英寸高频启闭 KOSⅡ-D 双面甲阀，600~1000 万次
哈氏合金 C276	耐氟、氯等离子强腐蚀	刻蚀腔体、卤素工艺阀门
钛合金	轻量化、抗酸碱、极低放气	科研超高真空、航天设备

NCE 系列 CF 法兰焊接波纹管（外置动密封、管路伸缩）

20mm 标准伸缩 (2D) 常用型号

型号	CF 法兰规格	内径	外径	典型用途
NCE234 / NCE234-K	CF34	8	22	小型检漏仪、微型阀密封
NCE270 / NCE270-K	CF70	25	52	离子泵、小口径管路补偿
NCE2114 / NCE2114-K	CF114	50	88	Marina DN65/80 摆阀外置密封
NCE2152 / NCE2152-K	CF152	76	116	真空泵管路、8 寸设备管路
NCE2203 / NCE2203-K	CF203	100	152	12 寸设备主排气管路伸缩

30mm 加长伸缩 (3D) 型号

NCE234-3D、NCE270-3D、NCE2114-3D、NCE2152-3D、NCE2203-3D，适配大行程机械手、腔体热补偿。

三、IC 成型波纹管（管路减震，不做阀门驱动）

主流 IC 标准型号

IC25B、IC32A、IC32B、IC40A、IC40B、IC50A、IC50B、IC70、IC100、IC150

寿命：1~3 万次；漏率≤\(1×10^\ \text^3/\text\)；短时烘烤最高 250℃
用途：真空泵减震、腔体热形变补偿、管路降噪。

四、特种定制波纹管型号

HC 耐腐蚀系列：NS1210-HC、NCE2114-HC，哈氏合金 C276，刻蚀卤素工况专用
HT 高温系列：NS1270-HT、NCE2203-HT，长期 180~200℃烘烤
钛合金 TA 系列：NA10、NA100，科研超高真空、航天设备
多层加厚高压款：NS-HE 系列，反向压差强化，承压 1.2atm

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