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| 品牌 | IKC/入江工研 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
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IKC入江工研 一体模压不锈钢波纹长软管
IKC入江工研 一体模压不锈钢波纹长软管
IKC 真空柔性管为一体模压不锈钢波纹长软管，区别于短节模制波纹管、阀门焊接波纹管；定位：真空泵与腔体长距离柔性连接、减震降噪、安装错位补偿、管路热形变吸收，无高频往复伸缩，只做静态弯曲、小幅度位移，广泛配套半导体真空排气系统。
VF：标准单层波纹柔性管；VFP：加厚强化型柔性管（壁厚增加、抗疲劳、耐反复弯折）
1000=KF/NW 快拆法兰、2000=CF 超高真空刀口法兰、3000=JIS 日系法兰、4000 = 光管焊接定制款
| 型号 | 对应 KF 法兰 | 内径 Bi | 外径 Bo | 法兰外径 D | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|---|
| VF1010/VFP1010 | KF10 | 10.5 | 12.4 | 15 | 微型检漏仪、小型支管 |
| VF1016/VFP1016 | KF16 | 13.2 | 18.7 | 18.5 | 离子泵、实验室小管路 |
| VF1025/VFP1025 | KF25 | 25 | 25 | 34 | 干泵前端短连接 |
| VF1040/VFP1040 | KF40 | 38.2 | 41 | 50 | Marina DN40 排气阀配套 |
| VF1050/VFP1050 | KF50 | 53.3 | 50.1 | 62 | 中小型分子泵管路 |
| VF1065/VFP1065 | KF65 | 62.8 | 71 | 85 | 8 寸设备排气支管 |
| VF1080/VFP1080 | KF80 | 78 | 78 | 101 | 量产机干泵主管路 |
| VF1100/VFP1100 | KF100 | 103 | 100 | 127 | 12 寸设备主排气总管 |
KF/JIS 常规款：≤\(\boldsymbol\ Pa·m^3/s}\)
CF 超高真空款：≤\(\boldsymbol\ Pa·m^3/s}\)
长期稳定使用：-20℃ ~ 150℃
短时高温烘烤：最高250℃
深冷定制：-196℃液氮工况可选
标准主体：SUS304 不锈钢；严苛腐蚀工况升级 SUS316L 电解抛光
VFP 加厚款：管壁加厚，抗弯折、抗疲劳，寿命提升 50%
仅允许静态弯曲、小幅度位移补偿，禁止高频往复伸缩（不可替代阀门焊接波纹管）
最小弯曲半径：≥软管外径 5 倍，过度弯折易开裂漏气
工作工况：内侧真空、外侧常压，不用于正压管路输送
| 品类 | 结构 | 往复寿命 | 核心用途 | 能否做阀门驱动 |
|---|---|---|---|---|
| 真空柔性管 VF | 长距离连续波纹软管 | 静态长期，无往复 | 长管路柔性连接、减震 | ❌禁止 |
| IC 模制风箱 | 短节波纹管 | 1~3 万次低频 | 短距离热补偿、安装错位 | ❌禁止 |
| NS/NCE 焊接波纹管 | 多层膜片点焊精密件 | 500~1000 万次高频 | 闸阀气缸动密封驱动 | ✅阀门wei一机芯 |
干泵、涡轮分子泵、离子泵与腔体之间柔性连接，隔绝泵震动传导，保护晶圆腔体精度；
Marina 圆形排气阀、方形闸阀后端排气管道柔性转接；
Loadlock 锁腔粗抽管路、8/12 寸量产设备集群长排气管路补偿；
设备改造：硬管改软管，解决机架安装错位、热胀冷缩应力。
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