通用基础规格（全系一致）

• 测量量程：X/Y ±0.3°

• 测量分辨率：0.0002°（0.35 μm/m）

• 系统精度：±0.001°（17.5 μm/m）

• 零点重复性：≤±0.001°

• 响应速度：≤50ms

• 使用温度：-10℃ ～ +50℃

• 屏幕：4.3 英寸彩色触控屏，数字 + 圆形气泡模拟显示，合格区间声光提示

• 单位切换：° / μm/m 自由切换
  SEM坂本電機SELN-131BM无线分体数字水平仪
  
  

• 一、有线分体系列（超薄圆盘传感器）

• 传感器：Φ50 × H19 mm，SUS 不锈钢底座，重量 70g，超薄，适合狭小腔体。标配线缆：2m（可定制加长线缆）

• 1. SELN-001B（基础有线型）

• 核心配置

• 数据存储：❌ 无存储

• 数据输出：仅实时显示，无 SD 卡记录；支持 USB 实时数据输出

• 通道：单通道（1 个传感器）

• 供电：主机 DC6V 适配器 / 4×AA 电池

• 适用场景半导体设备现场安装调平、光学平台、精密机床、检测治具单次调试；狭小密闭腔体（晶圆腔、真空腔内部）测量；不需要留存测量报告的调试工位。

• 2. SELN-011B（有线・带数据存储型）

• 核心配置

• 数据存储：✅ Micro SD 卡存储；最多 15 组文件、每组 120 个测点

• 数据输出：USB 实时输出 + SD 离线导出

• 通道：单通道

• 供电：主机 DC6V 适配器 / 4×AA 电池

• 适用场景设备验收调试、产线设备定期点检、需要水平度数据存档追溯；高校实验室、计量校准、自动化设备出厂检测；半导体设备装机验收留证。

多通道旗舰机型 SELN-141BM（无线多通道）

• 单台显示主机最多同时连接 5 台无线传感器，多点同步实时监测

• 全部测点 X/Y 数值同屏显示

• 支持长期连续监测、倾斜趋势观测

• 数据统一 SD 卡记录

各型号参数对比表

行业通用运用场景汇总

1. 半导体行业（最主力应用）

• 光刻机、涂胶显影设备、晶圆检测机、探针台调平

• 真空腔体内部平台水平校准（优先 SELN-001B 超薄探头）

• 晶圆承载台、光学干涉基准台水平校正

• 设备新机装机、年度 PM 定期水平点检

2. 光学与精密测量

• 光学平台、干涉仪、激光设备、三坐标机基座调平

• 高精度影像测量仪、自动化视觉检测设备

3. 精密机床 & 自动化设备

• 龙门加工中心、磨床、坐标镗床床身水平校正

• 机器人底座、直线电机模组、大型自动化流水线机架

4. 航空、检测实验室

• 工装夹具水平标定、姿态测试平台

• 计量实验室设备校准、科研装置水平监控

5. 大型设备长期监测（SELN-141BM）