简要描述：科赋乐 KOFLOC 超大流量质量流量计
HFC‑303 = **大流量 MFC（带两级控制阀，闭环控流）**；同平台无阀流量计型号：**HFM‑301（MFM，仅测量）**
HFC‑303 是老款 HFC‑203 升级机型，**最*支持 N₂ 1000 SLM**，普通 MFC（3660/EX‑201）上限一般只有几十 SLM，大流量工况专用，**旁路热绕组传感 + 两级先导阀结构**科赋乐精密

科赋乐 KOFLOC 超大流量质量流量计

一、测量原理

恒温差热扩散原理（旁路热绕组传感器）

1. 一小部分气体进入旁路传感毛细管，毛细管上缠绕 2 组铂电阻丝；一组加热，一组测温。

2. 气体流过带走热量，流量越大，带走热量越多，温差越大。

3. 通过检测加热功率与温差换算出气体质量流量，输出标准电信号。

4. MFC 内置比例电磁阀，闭环对比设定值与实测值，实时调节阀门开度，压力波动也可稳定流量；MFM 无阀门，仅采集读数。

5. 介质：只适合干燥洁净气体（N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂、CH₄等），支持软件切换气体转换系数；不适用带液、大量粉尘、强腐蚀卤素（需特殊金属密封版本）。

科赋乐 KOFLOC 超大流量质量流量计

二、主流全系列型号与核心参数

1）3760 系列｜经济型标准 MFM（仅测量，无阀）

• 型号：3760（小流量）、3765（大流量）科赋乐精密...

• 量程 (N₂)：3760：10 SCCM‑20 SLM；3765：30‑100 SLM

• 精度：3760 ±1.0% FS；3765 ±1.5% FS

• 响应：2‑3 s；重现性 ±0.5% FS

• 供电：±15 VDC；信号：0‑5 V；D‑SUB9

• 耐压：980 kPa (G)；漏率 He：≤1×10⁻⁸ Pa・m³/s

• 材质：SUS316L；接头：1/4F900（标准）

• 定位：科研、分析仪器、设备内置，性价比标准款

2）3660 系列｜经济型标准 MFC（测量 + 控制阀）

• 型号：3660、3665（对应 3760/3765 带常闭电磁阀）

• 量程：10 SCCM‑100 SLM

• 精度：±1.0‑1.5% FS；响应 2‑3 s

• 断电阀门：常闭；供电 ±15VDC；0‑5V 模拟；D‑SUB9

• 定位：实验室、镀膜、普通工艺气体闭环控制

3）EX‑250S 系列｜小型数字 MFC/MFM

• 型号：EX‑250SC (MFC 控制器) / EX‑250SM (MFM 流量计)科赋乐精密...

• 量程：10 SCCM～5 SLM

• 精度：±1.0% FS；重现性 ±0.2% FS；响应≤1 s

• 通信：RS485‑Modbus‑RTU；信号：0‑5V /4‑20 mA 可选

• 供电：±15VDC 或 DC24V；D‑SUB9；重量约 440‑500 g

• 耐压：980 kPa (G)；压差 50‑300 kPa

• 定位：设备紧凑集成，高速响应小流量数字型科赋乐精密...

4）EX‑201SC‑RJ 系列｜高性能多量程数字 MFC

• 型号：EX‑201SC‑RJ（MFC，RJ45+D‑SUB9 双接口）科赋乐精密...

• 量程：10 SCCM‑10 SLM；支持软件修改量程、多气体切换

• 精度：±1.0% SP（设定点精度，指标）；重现性 ±0.2% FS

• 响应＜1 s；DC24V 供电；RS485 Modbus；0‑5V /4‑20mA

• 接头：1/4SW；泄漏率≤1e‑8 Pa・m³/s

• 定位：高精度科研、半导体、要求设定点高精度场景科赋乐精密...

5）EX‑700R（EXE‑FLOW）｜带本地显示屏 MFM（流量计，无阀）

• 型号：EX‑700R‑Fxx；后缀 F1~F11 对应不同满量程：F1 (10SCCM)～F11 (200SLM)；分‑0 无针阀 /‑V 内置手动针阀版本

• 量程：10 SCCM‑200 SLM

• 精度：±1.5% FS；响应≤2 s；带 LCD 屏幕，现场读瞬时 / 累计流量，报警输出

• 通信 RS485；模拟 0‑5V/4‑20mA；DC24V

• 定位：现场需要看读数，实验室手动微调气路，无需上位机也可本地查看流量

6）8700 / 8750 系列｜大屏数显 MFC/MFM 一体机

• 型号：8700MC/MM（小流量）；8750MC/MM（大流量）；MC=MFC 控制器，MM=MFM 流量计科赋乐精密...

• 量程：8700：10 SCCM‑20 SLM；8750：30‑100 SLM

• 精度：8700 ±1.0% FS；8750 ±1.5% FS；响应 2‑3 s

• 自带 LCD 显示屏，瞬时流量、累计流量、报警阈值设置；RS485；0‑5V/4‑20mA；DC24V

• 耐压 1 MPa (G)；SUS316L 流道

• 定位：设备面板可直读，调试维护便捷，半导体、镀膜、燃料电池、配气系统

7）EX‑550 系列｜全金属密封 MFC/MFM（半导体工艺级）

• 特点：金属密封，无橡胶密封圈，适配特种、轻微腐蚀、高纯工艺气体；数字 RS485，高速响应

• 量程：10 SCCM‑20 SLM；精度 ±1.0% FS

• 定位：半导体、OLED、真空镀膜高纯气路，要求低析出、高洁净度工况kofloc.smc...

8）HFC‑303 系列｜超大流量 MFC

• 量程：最高1000 SLM；两级先导阀结构；大流量高精度控制；精度 ±1.0% FS；响应快速

• 定位：燃烧、吹扫、大流量工艺供气

三、关键通用参数汇总

四、应用场景

1. 半导体、光伏、OLED、真空镀膜：Ar、N₂、O₂、工艺气体配比；EX‑550 金属密封用于高纯工艺气。

2. 科研实验室：催化反应、配气系统、燃料电池测试、质谱 / 光谱载气；常用 3760、8700、EX‑700R 数显款。

3. 分析仪器设备：气相、气体标定、环境检测仪器内置 MFM/MFC。

4. 工业设备：燃烧供气、气体吹扫、锂电研发、惰性气体保护。

五、使用注意事项

1. 气体必须干燥洁净，前端加装过滤器，粉尘会损坏热传感丝。

2. 严禁反向承压；尽量水平安装。

3. 更换气体，需要切换对应气体转换系数，否则读数不准。

4. MFM（流量计）没有阀门，上游压力波动时流量会变化，仅做监测，不能自动稳流。