简要描述：科赋乐 KOFLOC 小型数字质量流量控制器
SC = MFC 带内置比例电磁阀；‑RJ = **双 RJ45 物理接口承载 RS485‑Modbus‑RTU，网线手拉手多台级联**；DC24V 供电，体积紧凑，替代老款模拟 3660 系列，面向 OEM、实验室、小型工艺设备

科赋乐 KOFLOC 小型数字质量流量控制器

一、工作原理

旁路式热绕组恒温差热式质量传感，直接输出气体质量流量，无需温压补偿科赋乐精密...。

1. 少量气体分流进入毛细管传感器，铂电阻一组加热、一组测温；气体流动带走热量，流量越大热损耗越大。

2. 内置常闭型比例电磁阀 + 高速数字 PID 闭环，对比设定值与实测流量实时调节阀门开度；断电阀门关闭，切断气路。

3. 板载数字处理：内置 8 种标准气体转换系数，支持软件虚拟降量程，可读取流量、阀开度、机身温度、报警状态。

适用介质：干燥洁净气体：N₂、Air、H₂、He、Ar、O₂、CO₂、CH₄；标准 FKM 密封圈；可定制 PTFE/PCTFE；不适用带液、粉尘、强卤素腐蚀气体科赋乐精密...。

科赋乐 KOFLOC 小型数字质量流量控制器

二、核心规格参数表

三、型号命名 & 订货示例

EX‑201SC‑RJ‑N2‑5SLM‑1/4SW

• EX‑201SC‑RJ：系列型号

• N2：标定基准气体

• 5SLM：N₂满量程

• 1/4SW：接头规格

四、主要功能特点

1. SP 设定点精度：优于传统 FS 满量程精度，小流量段控制表现优秀。

2. 单 DC24V 供电，淘汰老款 3660 的 ±15V，设备集成布线更简单。

3. 双 RJ45 手拉手总线：普通网线即可多台 MFC 串联，一台 RS485 转换器可挂载多台设备。

4. 内置 8 种气体系数，Modbus 或者上位软件直接切换气体，无需上位机手动换算系数。

5. 虚拟降量程：软件可将量程下调至原硬件量程 30‑99% FS；⚠️不能低于 30%，极小量程必须选硬件小量程型号。

6. 可读取：瞬时流量、设定流量、阀门开度、设备温度、故障报警代码。

7. 断电阀门常闭，保障气路安全切断。

五、接口说明

1. D‑SUB9：兼容传统 MFC；提供 DC24V 电源、模拟输入输出（0‑5V/4‑20mA）。

2. 双 RJ45：内部 RS485 总线，IN 接前一台，OUT 接下一台；总线最后一台接终端电阻。

3. 顶部拨码：直接设置 Modbus 从站地址，无需软件配置。

六、典型应用场景

1. 科研实验室：催化配气系统、燃料电池测试台、混合气配比装置。

2. 分析仪器 OEM：质谱、光谱、气体标定设备内置。

3. 小型真空工艺：等离子、小型镀膜设备小流量工艺气控制。

4. 自动化配气柜：多通道组网，PLC / 上位机 Modbus 控制。

5. 老设备改造：替换老式 3660 模拟 MFC，升级数字通讯。

七、与老款 3660 模拟 MFC 对比

八、使用注意事项

1. 必须保证工作压差 50‑300kPa；压差不足，控流精度显著变差。

2. 气体必须干燥洁净，上游务必配置过滤器；粉尘会损坏热传感毛细管。

3. RJ45 为 RS485 总线，禁止接入交换机；总线末端务必接 120Ω 终端电阻。

4. 优先水平安装，禁止反向承压。

5. 虚拟降量程仅软件缩放，传感器硬件不变；需要真正更小量程，必须选择对应硬件档位。

6. 不含本地显示屏；如需现场读数，搭配 EX‑700R 数显 MFM，或外接二次仪表。