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| 品牌 | FLUORO/日本福乐 |
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现货!FLUORO福乐95-CP导电PEEK晶圆吸嘴
现货!FLUORO福乐95-CP导电PEEK晶圆吸嘴
深圳仓现货直发|95‑CP 为 X 万向球状旋转底座专用导电 PEEK 吸嘴,适配 5 英寸(125mm)薄硅晶圆,ESD 防静电、镜面抛光低发尘,消耗配件,适配 C002‑X、C003‑X 万向款真空吸笔本体,半导体无尘干式专用Fluoro Mec...。
型号释义
95:X 球状万向旋转底座吸盘,专门针对 5 英寸整片晶圆开发,支持多角度偏转取片,对薄晶圆做了吸附优化。
‑CP:Conductive PEEK,碳填充导电 PEEK 材质,实现 ESD 防静电,仅限干式无尘工况,不可药液浸泡Fluoro Mec...。
核心技术参数
项目
规格参数
产品名称 | 晶圆真空吸嘴(吸笔头) |
型号 | 95‑CP |
适配晶圆 | 5 英寸 (125mm) 硅晶圆、薄外延片、碳化硅晶圆、玻璃基板 |
材质 | 导电 PEEK(碳填充),接触面镜面抛光处理 |
表面电阻率 | 10⁶‑10⁸ Ω,满足 ESD 防静电标准 |
接口形式 | X 万向球状旋转底座,360° 角度可调Fluoro Mec... |
结构特点 | 多点沟槽吸附,压力分布均匀,降低薄晶圆压痕风险 |
适用洁净等级 | Class10‑1000 洁净室,仅限干式,禁止药液浸泡 |
适配吸笔本体 | FLUORO C002‑X、C003‑X 万向系列真空吸笔Fluoro Mec... |
备注 | 耗材配件,不含吸笔笔身、真空泵、真空软管 |
工作原理
95‑CP 是万向吸笔前端负压吸附耗材,依靠外接真空源完成 5 英寸晶圆拾取:
装配在 C002‑X / C003‑X 万向吸笔前端,真空泵负压传导至吸嘴多点沟槽吸附面;
球状万向接头可自由偏转角度,吸嘴贴合 5 英寸晶圆背面,多沟槽均匀分散负压,平稳吸附整片薄晶圆;
按下吸笔释放按钮,导通大气破除真空,晶圆平稳脱落释放;
导电 PEEK 形成完整静电泄放通路,疏导晶圆表面积累静电,避免器件静电击穿;
模块化快拆结构,吸嘴划伤、磨损、颗粒污染后直接更换,无需更换整套吸笔本体。
产品核心优势
ESD 全通路防静电:碳填充导电 PEEK 基材,非表面涂层,反复使用防静电性能不衰减,保护 5 寸薄晶圆、外延片。
360° 万向旋转结构:球状底座多角度偏转,适合机台腔体、狭小工位,无需大幅度转动手腕就可以对准晶圆表面,操作灵活。
薄晶圆友好吸附设计:多点沟槽布局,受力柔和均衡,减少翘曲薄片压痕,镜面抛光不会刮伤晶圆背面、外延层与镀膜,低颗粒析出,满足无尘制程管控。
PEEK 高耐磨寿命:材质韧性强、抗形变,相比橡胶吸嘴使用寿命更长,减少配件更换频次。
拆装维护便捷:现场快速拆装,仅更换吸嘴,降低产线运维成本。
主要运用场景
半导体制造工序:5 英寸硅片、碳化硅衬底手动转运,探针台测试、研磨、划片、贴膜工序上下料,机台腔体内取样、晶圆外观检查、失效分析取样。
芯片封装测试:5 寸整片晶圆拆解、取样,替代金属镊子,规避崩边、划伤、静电损伤。
光电行业:5 英寸光学玻璃基板、滤光片无尘拿取。
科研实验室:半导体实验室 5 寸薄片样品转移,腔体内部取样作业。