产品中心

Product

当前位置:首页  /  产品中心  /  FLUORO福乐  /  导电PEEK晶圆吸嘴  /  现货!FLUORO福乐96-CP导电PEEK晶圆吸嘴

现货!FLUORO福乐96-CP导电PEEK晶圆吸嘴

简要描述:现货!FLUORO福乐96-CP导电PEEK晶圆吸嘴
深圳仓现货直发|96‑CP 为 X 万向球状旋转底座专用导电 PEEK 吸嘴,适配 6 英寸(150mm)薄硅晶圆,ESD 防静电、镜面抛光低发尘,消耗配件,适配 C002‑X、C003‑X 万向款真空吸笔本体,半导体无尘干式专用Fluoro Mec...

基础信息

产品型号

厂商性质

经销商

更新时间

2026-09-04

浏览次数

10
详细介绍
品牌FLUORO/日本福乐

现货!FLUORO福乐96-CP导电PEEK晶圆吸嘴

现货!FLUORO福乐96-CP导电PEEK晶圆吸嘴

深圳仓现货直发|96‑CP 为 X 万向球状旋转底座专用导电 PEEK 吸嘴,适配 5 英寸(150mm)薄硅晶圆,ESD 防静电、镜面抛光低发尘,消耗配件,适配 C002‑X、C003‑X 万向款真空吸笔本体,半导体无尘干式专用Fluoro Mec...。

型号释义

  • 96:X 球状万向旋转底座吸盘,专门针对 6 英寸整片晶圆开发,支持多角度偏转取片,对薄晶圆做了吸附优化。

  • ‑CP:Conductive PEEK,碳填充导电 PEEK 材质,实现 ESD 防静电,仅限干式无尘工况,不可药液浸泡Fluoro Mec...。

核心技术参数

项目

规格参数



产品名称

晶圆真空吸嘴(吸笔头)

型号

96‑CP

适配晶圆

5 英寸 (150mm) 硅晶圆、薄外延片、碳化硅晶圆、玻璃基板

材质

导电 PEEK(碳填充),接触面镜面抛光处理

表面电阻率

10⁶‑10⁸ Ω,满足 ESD 防静电标准

接口形式

X 万向球状旋转底座,360° 角度可调Fluoro Mec...

结构特点

多点沟槽吸附,压力分布均匀,降低薄晶圆压痕风险

适用洁净等级

Class10‑1000 洁净室,仅限干式,禁止药液浸泡

适配吸笔本体

FLUORO C002‑X、C003‑X 万向系列真空吸笔Fluoro Mec...

备注

耗材配件,不含吸笔笔身、真空泵、真空软管

工作原理

96‑CP 是万向吸笔前端负压吸附耗材,依靠外接真空源完成 6 英寸晶圆拾取:

  1. 装配在 C002‑X / C003‑X 万向吸笔前端,真空泵负压传导至吸嘴多点沟槽吸附面;

  2. 球状万向接头可自由偏转角度,吸嘴贴合 6 英寸晶圆背面,多沟槽均匀分散负压,平稳吸附整片薄晶圆;

  3. 按下吸笔释放按钮,导通大气破除真空,晶圆平稳脱落释放;

  4. 导电 PEEK 形成完整静电泄放通路,疏导晶圆表面积累静电,避免器件静电击穿;

  5. 模块化快拆结构,吸嘴划伤、磨损、颗粒污染后直接更换,无需更换整套吸笔本体。

产品核心优势

  1. ESD 全通路防静电:碳填充导电 PEEK 基材,非表面涂层,反复使用防静电性能不衰减,保护 5 寸薄晶圆、外延片。

  2. 360° 万向旋转结构:球状底座多角度偏转,适合机台腔体、狭小工位,无需大幅度转动手腕就可以对准晶圆表面,操作灵活。

  3. 薄晶圆友好吸附设计:多点沟槽布局,受力柔和均衡,减少翘曲薄片压痕,镜面抛光不会刮伤晶圆背面、外延层与镀膜,低颗粒析出,满足无尘制程管控。

  4. PEEK 高耐磨寿命:材质韧性强、抗形变,相比橡胶吸嘴使用寿命更长,减少配件更换频次。

  5. 拆装维护便捷:现场快速拆装,仅更换吸嘴,降低产线运维成本。

主要运用场景

  1. 半导体制造工序:6 英寸硅片、碳化硅衬底手动转运,探针台测试、研磨、划片、贴膜工序上下料,机台腔体内取样、晶圆外观检查、失效分析取样。

  2. 芯片封装测试:6 寸整片晶圆拆解、取样,替代金属镊子,规避崩边、划伤、静电损伤。

  3. 光电行业:6英寸光学玻璃基板、滤光片无尘拿取。

  4. 科研实验室:半导体实验室6寸薄片样品转移,腔体内部取样作业。


在线留言

留言框

  • 产品:

  • 您的单位:

  • 您的姓名:

  • 联系电话:

  • 常用邮箱:

  • 省份:

  • 详细地址:

  • 补充说明:

  • 验证码:

    请输入计算结果(填写阿拉伯数字),如:三加四=7

手机:13530227878

扫码加微信