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| 品牌 | TK-FUJIKIN韩国 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
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韩国TK-FUJIKIN双功能隔膜阀型号编码与完整型号清单
S4 PSDVN - VF - C - P
S4：阀体规格代号
PSDVN：系列名（PS=Pneumatic Dual flow，DVN=Diaphragm Valve Normal，双流量气动隔膜阀）
VF/VM：接口形式（VF=VCR 母头；VM=VCR 公头；BW = 自动焊；UJR 可选）
C：常闭 NC（标准）；O = 常开 NO（定制）
P：表面处理等级（P=EP 电解抛光；AP/BA 可选）
S4PSDVN-VF-C-P ｜1/4" VCR 母头，NC，EP
S4PSDVN-VM-C-P ｜1/4" VCR 公头，NC，EP
S6PSDVN-VF-C-P ｜3/8" VCR 母头，NC，EP
S6PSDVN-VM-C-P ｜3/8" VCR 公头，NC，EP
S8PSDVN-VF-C-P ｜1/2" VCR 母头，NC，EP
S8PSDVN-VM-C-P ｜1/2" VCR 公头，NC，EP
可选变体：BW 自动焊版本、NO 常开版本、BA/AP 表面等级、带位置反馈开关型号（PSDVN+LS）
两段式双行程气动金属隔膜阀（双功能）
执行器分为两段独立行程，两路独立控制气源：
第一段（预开 / 微开）：短行程，金属隔膜轻微抬起，小流量吹扫、预通、缓慢升压，防止高压冲击、流量骤变冲起管路颗粒；
第二段（全开）：继续供气，隔膜wan全抬起，达到额定 Cv 大流量，正常输送高纯工艺气体；
密封结构：Ni-Co 镍钴合金金属隔膜，膜片作为动件，wan全隔离执行器与工艺流体，无填料、无外漏通道；阀座 PCTFE 软密封，阀座零泄漏；
关闭：弹簧复位，隔膜压紧阀座，切断流体。
一句话：同一个阀体，2 档开度，先小流量吹扫，再全开，实现吹扫 + 输送两种功能，所以叫双功能隔膜阀
双段行程，预吹扫 + 全开一体化，省去单独吹扫旁路阀，简化 IGS 气体柜阀组，减少内部死体积
极低内部容积（Low internal volume），降低气体残留、减少置换时间
低发尘：洁净室组装清洗，金属隔膜，颗粒生成极少；水分、氧气、碳氢析出极低，适合超高纯特气
材质可追溯：阀体激光yong久打码，材料追溯至钢厂材质证书
密封性能优异：氦检，内外泄漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
阀体 SUS316L VAR 真空重熔不锈钢，EP 电解抛光标准；可选 BA/UP 超抛光
耐腐蚀性强：PCTFE 阀座，适配绝大多数半导体腐蚀性、惰性特种气体
紧凑型阀本体，阀组集成（Gas Box/IGS）节省安装空间
长寿命：百万次开关循环，三星 / SK 海力士长期验证
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 驱动方式 | 气动两段式（双气源控制），标准 NC 常闭；NO 常开可定制 |
| 口径 | 1/4"（6.35mm）、3/8"（9.52mm）、1/2"（12.7mm） |
| 最高工作压力 | 1.0 MPa（10bar） |
| 工作流体温度 | -10℃ ~ +80℃ |
| 驱动气源压力 | 0.4~0.6 MPa（两路独立气源分别控制两段行程） |
| 接液材质 | 阀体：SUS316L VAR；隔膜：Ni-Co 合金（Elgiloy）；阀座：PCTFE（标准），PI 高温可选 |
| 内表面粗糙度 | EP 标准：Ry ≤0.3μm；BA：Ry≤3.0μm；AP 粗抛 |
| 阀座泄漏 | 氦检零泄漏，≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s |
| 外泄漏 | ≤1×10⁻¹⁰ Pa·m³/s |
| Cv 值参考 | 1/4":0.32；3/8":0.55；1/2":0.85 |
| 洁净处理 | DIW 超纯水清洗、无尘室装配、真空包装、禁油处理 |
| 连接方式 | VCR 公 / 母头、自动焊 BW、UJR 接头可选 |
| 重量 | 约 350~450g（随口径变化） |
半导体 IGS 集成气体柜、Gas Box 气体箱（最主要场景）：特种工艺气体（SiH4、NH3、Cl2、WF6 等），用于预吹扫管路→置换空气→然后全开供气，单阀替代 2 个普通隔膜阀，精简阀组
晶圆厂二次配管（Gas Panel）、刻蚀、沉积、离子注入设备机台特气管路
显示面板、光伏、SiC/GaN 第三代半导体产线超高纯气体管路
有毒、自燃、腐蚀性电子特种气体输送，避免瞬间大流量冲击产生颗粒、压力冲击
实验室高纯气体分配系统、气体稀释配比模块
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