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| 品牌 | SHIBAURA/芝浦机电 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
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SHIBAURA 芝浦 VAD 系列（气动型）高真空角阀
VAD 是 VHD 手动款对应的气动 L 型高真空挡板角阀，同属芝浦机电真空阀产品线，依靠压缩空气驱动，支持自动化 / 远程控制，分KL 快拆 NW 法兰与L 型 JIS VF 法兰两大子系列
| 型号 | 口径 | 流导 L/s | 总漏率 | 驱动气源 |
|---|---|---|---|---|
| VAD-25KL | NW25 | 15 | ≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s | 0.3～0.5MPa 压缩空气 |
| VAD-40KL | NW40 | 45 | ≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s | 0.3～0.5MPa 压缩空气 |
| VAD-50KL | NW50 | 85 | ≤1.3×10⁻¹⁰ Pa·m³/s | 0.3～0.5MPa 压缩空气 |
| 型号 | 口径 | 法兰标准 | 流导 L/s | 重量 kg | 气源接口 |
|---|---|---|---|---|---|
| VAD-1L | 1B | JIS B2290 VF | 15 | 1.6 | PT1/8 |
| VAD-2L | 2B | JIS B2290 VF | 70 | 3.6 | PT1/4 |
| VAD-3L | 3B | JIS B2290 VF | 180 | 9.3 | PT1/4 |
| VAD-4L | 4B | JIS B2290 VF | 350 | 14.5 | PT3/8 |
阀体材质：SUS 不锈钢；密封 O 圈：FPM 氟橡胶；阀座耐压差：0.1MPa；可选簧片开关（位置反馈信号）
L 型角式挡板结构，气缸活塞驱动阀杆上下直线动作：
压缩空气通入气缸上腔 → 活塞下压，阀头挡板压紧 FPM 密封圈 → 阀门关闭，切断真空管路
压缩空气切换至气缸下腔 → 活塞抬升阀杆，挡板提起 → 流道导通，气体流通
配套电磁阀即可实现 PLC 远程自动控制；可选簧片开关，反馈阀门全开 / 全关状态信号，接入设备联锁保护
和 VHD 手动款对比：流道、阀体结构、密封标准一致；区别仅在于驱动机构（气缸替代手轮）
气动驱动，自动化远程控制，无需人工现场操作，适配真空设备 PLC 联动、时序排气联锁；气源要求 0.3~0.5MPa 干燥压缩空气
全 SUS 不锈钢阀体，FPM 氟橡胶密封，低放气、耐化学腐蚀，洁净等级适配半导体真空工况
超低泄漏，本体 + 密封总漏率≤1.3×10⁻¹⁰ Pa・m³/s，满足高真空系统
法兰标准化：KL=NW 卡箍快拆，L 型 = JIS VF 法兰，日系镀膜 / 蒸镀设备原装替换
可选簧片位置开关，阀位电信号反馈，方便设备做安全互锁、报警
结构稳定，开闭响应快，适合频繁通断循环；维护简单，O 圈可单独更换
同 VHD 手动阀外形、流导匹配，项目上手 / 自动方案可互换选型
半导体设备：溅射、蒸镀、刻蚀、脱气腔体真空隔离阀，前级泵 / 高真空管路自动切断
光学镀膜、真空蒸镀、真空热处理、真空干燥、树脂脱气自动化产线
实验室自动化真空系统、检漏设备、分析仪器真空回路
FPD 面板真空工艺设备
大型真空排气机组，需要远程 / 时序自动控制的真空隔断（手动 VHD 适合简易、不频繁操作；VAD 用于自动化产线）
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