日本V-TEX 晶圆传送矩形超高真空狭缝门阀 V‑TEX ROLLCAM‑200 系列（8 英寸 / 200mm 晶圆狭缝阀）

ROLLCAM‑200：专门适配200mm (8 寸) 硅片的矩形狭缝门阀；核心开口标准 222 × 48 mm；zhuan利 Roll‑Cam 滚柱凸轮机构，波纹管隔离传动，低发尘；大量配套 TEL 8 寸刻蚀、PVD、CVD 设备。注意：该系列没有固定数字型号，主尺寸固定 222×48；型号编码 = 基础尺寸 + 功能后缀；市面流通大量是 TEL 设备原厂备件号（2L80‑xxxx），不是 V‑TEX 原厂型号。

一、V‑TEX 基础型号

V‑TEX 型号编码	开口 W×H	核心配置	说明
ROLLCAM‑222×48 DCP	222 × 48 mm	D 波纹管密封 + C 位置传感器 + P 气动	标准基础款，8 寸产线通用
ROLLCAM‑222×48 DCP‑R	222 × 48 mm	D+C+P+R 逆压耐受	负载锁腔：外侧大气，内侧真空工况，TEL 设备主流
ROLLCAM‑222×48 DCP‑H	222 × 48 mm	D+C+P + 阀体加热	工艺腔体温度高，防止副产物冷凝
ROLLCAM‑222×48 CP	222 × 48 mm	无波纹管，C 传感器 + P 气动	简易款，少用于半导体工艺腔，多用于粗真空

二、日本V-TEX 晶圆传送矩形超高真空狭缝门阀 核心通用参数

项目	参数
阀门类型	超高真空矩形狭缝门阀 Slit Valve，2 位：全开 / 全关，无节流
驱动	气动，气源压力 0.45‑0.55MPa
机构	ROLL‑CAM 滚柱凸轮zhuan利机构，O 圈无滑动摩擦，低颗粒
传动	标准金属波纹管隔离（D 版本），油脂隔离真空外部
工作压力	大气压～1×10⁻⁷ Pa
氦漏率	阀瓣密封 ≤1.3×10⁻¹⁰ Pa・m³/s；本体 ≤4×10⁻¹⁰ Pa・m³/s
循环寿命	标准 100 万次
阀体材质	阀体硬质阳极氧化铝；阀板铝合金；法兰不锈钢
密封件	标准 FKM (Viton)；腐蚀工艺选 FFKM 全氟醚 O‑ring
温度	阀板≤90℃；气缸部分≤60℃；‑H 加热版本最高 150℃
开关时间	1.2‑2.0s
重量	约 2.6kg
信号输出	磁性传感器输出阀门到位信号

三、工作原理

1. 气缸直线驱动滚柱沿着凸轮沟槽运动；

2. 开关动作顺序：

• 开启：阀板先向后平移脱离密封面 → 向上抬升wan全让出 222×48 窗口；

• 关闭：阀板向下落到位 → 向前平移压紧 O 型圈实现真空密封；

3. 开闭全程 O 型圈没有滑动摩擦，只有最后闭合压紧，zui大程度减少微粒；

4. 波纹管把气缸与真空腔体wan全隔离，驱动侧润滑油不会进入工艺腔。

四、应用场景

8 英寸（200mm）半导体设备

1. Load‑lock 负载锁 ↔ 传输腔之间晶圆传送窗口；

2. 传输腔与刻蚀、PVD、CVD、去胶 Ashing 工艺腔之间的隔离传送阀；

3. TEL 8 寸刻蚀机、介质刻蚀、金属刻蚀设备原厂标配阀件。