产品型号
厂商性质
更新时间
浏览次数
相关文章
| 品牌 | V-TEX/日本 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
|---|
日本V-TEX 晶圆传送矩形超高真空狭缝门阀ROLLCAM‑300，12 寸晶圆产线主力矩形超高真空狭缝门阀（Slit Valve），标准开口 336 × 48 mm；ROLL‑CAM 滚柱凸轮zhuan利机构，波纹管隔离传动；大量配套 TEL 12 寸刻蚀、CVD、ALD 设备。
无纯数字固定型号；型号 = 开口尺寸 + 配置后缀；市场流通大量是 TEL 设备备件号，阀体本体 V‑TEX 制造。
| V‑TEX 型号编码 | 开口 W×H | 配置 | 说明 |
|---|---|---|---|
| ROLLCAM‑336×48 DCP | 336 × 48 mm | D 波纹管密封 + C 位置传感器 + P 气动 | 标准基础款，12 寸通用 |
| ROLLCAM‑336×48 DCP‑R | 336 × 48 mm | D+C+P+R 逆压耐受 | Load‑lock 负载锁专用；阀板承受外侧大气压，TEL 主流标配 |
| ROLLCAM‑336×48 DCP‑H | 336 × 48 mm | D+C+P+H 阀体加热 | 抑制工艺副产物冷凝，高温工艺腔体 |
| ROLLCAM‑336×48 DCP‑HR | 336 × 48 mm | D+C+P+H+R | 加热 + 逆压，严苛负载锁工况 |
| ROLLCAM‑336×48 CP | 336 × 48 mm | C 传感器 + P 气动，无波纹管 | 简易版本，不建议工艺腔使用，仅粗真空 |
D：Metal‑bellows 金属波纹管密封，驱动油脂wan全隔离真空外部，半导体工艺腔必选
C：内置磁性位置传感器，输出全开 / 全关到位信号
P：气动驱动；该系列几乎无电动版本
R：逆压规格，阀板可承受腔体一侧真空、另一侧大气压压差
H：阀体加热功能
定制变体：开口高度可定制 42 / 52 mm；法兰安装孔位按设备图纸定制。
| TEL 备件物料号 | 对应 V‑TEX 本体 | 备注 |
|---|---|---|
| CX12‑000134‑11 | ROLLCAM‑336×48 DCP‑R | TEL 12 寸刻蚀机zui常用备件号 |
| 1D80‑004692‑12 | ROLLCAM‑336×48 DCP‑R | 刻蚀机传输腔狭缝阀 |
| 3D80‑001812‑V1 | ROLLCAM‑336×48 DCP | 老款 12 寸设备版本 |
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 阀门类型 | 超高真空矩形狭缝门阀 Slit Valve，二位：全开 / 全关，无节流、无调压 |
| 驱动 | 气动；气源压力 0.45‑0.55 MPa |
| 核心机构 | ROLL‑CAM 滚柱凸轮zhuan利机构；关闭压紧前 O 圈无滑动摩擦，低颗粒发尘 |
| 传动 | D 版本金属波纹管隔离传动，真空侧无润滑油脂 |
| 压力范围 | 大气压～1×10⁻⁷ Pa |
| 氦检漏率 | 阀瓣密封 ≤1.3×10⁻¹⁰ Pa・m³/s；本体外壳 ≤4×10⁻¹⁰ Pa・m³/s |
| 机械寿命 | 标准 100 万次循环 |
| 阀体材质 | 阀体硬质阳极氧化铝；阀板铝合金；法兰不锈钢 |
| 密封件 | 标准 FKM (Viton)；腐蚀刻蚀工艺选用 FFKM 全氟醚 O‑ring |
| 温度 | 标准阀板≤90 ℃；气缸部分≤60 ℃；‑H 加热版本最高 150 ℃ |
| 开关时间 | 1.5‑2.5 s |
| 重量 | 约 3.4 kg |
| 信号输出 | 磁性传感器输出阀门到位信号 |
气缸直线驱动滚柱沿着凸轮沟槽运动，实现复合动作；
开启动作：阀板先向后平移脱离密封面 → 向上抬升，wan全让出 336×48 窗口，硅片可以通行；
关闭动作：阀板向下落到位 → 向前平移压紧 O 型圈，建立真空密封；
开关过程 O 型圈不发生滑动摩擦，仅闭合瞬间压紧，最大限度减少微粒；
波纹管把气缸驱动机构与真空腔体wan全隔离，外部润滑油不会污染工艺腔。
Load‑lock 负载锁腔 ↔ 传输腔之间，晶圆进出传送窗口；
传输腔与刻蚀、PVD 溅射、CVD、ALD、去胶 Ashing 工艺腔之间的隔离传送阀；
TEL 东京电子 12 寸介质刻蚀、导体刻蚀设备原厂标配阀件。
❗区分安装位置
ROLLCAM‑300：矩形窗口，晶圆通行窗口阀；
GV 插板阀：圆形 ISO‑F 法兰，腔体之间隔断，不穿过晶圆；
3PV 摆阀：腔体‑真空泵排气管路，用于隔离 + 固定档位节流调压。
产品分类
上一篇
