简要描述：V-TEX日本进口AV-NW16直角真空角阀
日本 VTEX（株式会社ブイテックス）半导体全系列产品 VTEX 主营超高真空洁净阀门 + 防爆爆破片，是 TEL、应用材料 AMAT、日立高新、ASM、爱发科等半导体设备原厂配套阀件供应商，产品适配 8/12 寸晶圆蚀刻、PVD/CVD、离子注入、ALD、封装全制程。

1.IPV 单位置摆阀（标准气动全开 / 全关，DN40~DN400 法兰规格）

型号：IPV-40/63/80/100/160/200/250/320/400

参数

• 寿命：＜DN350 规格 50 万次、大口径 30 万次；漏率≤5×10⁻¹⁰Pa・m³/s；O 圈 FKM 密封，单螺栓快拆检修

应用

2.3PV 三位摆阀（中间开度可调：全关 / 半开 / 全开，半导体压力微调标配）

型号：3PV-63/80/100/160/200（160A~500A 电控模组）

参数

应用

3.APC-Penduroll 智能摆阀（带 LEARN 容积测算功能）

参数：可接 2 路真空规，自动测算腔体容积、电导度 0~100% 连续可调

场景：优良制程 7/5nm 蚀刻机、高压离子注入腔体恒压控制、特种气体负压腔体稳压

V-TEX日本进口AV-NW16直角真空角阀 矩形插板 Gate Valve（直动插板阀，大腔体主隔离，DN50~DN400 全规格）

型号：GV-DN50/80/100/150/200/250/300/400（气动 / 电动两款）

参数

• 漏率：阀体≤4×10⁻¹¹Pa・m³/s；阀体耐温*高 150℃，驱动≤90℃；FKM 全周密封，低粒子掉落

应用

1. 高温外延炉 / 退火炉主腔体大门隔断、LPCVD 管式炉真空主阀

2. 封装设备真空烤箱腔体隔离、晶圆键合机真空腔主隔断

四、小型角阀 / 圆形截止阀（小口径气体管路，NW16/NW25/NW40）

型号：AV-NW16/25/40（直角真空角阀）

参数

应用

• 特种气体源柜（SiH₄、WF₆、ClF₃）支管通断、腔体检漏口旁路阀、真空计隔离阀、尾气处理小管路开关

五、CV 系列半导体专用防爆爆破片（泄压**件，5 个子型号，VTEX 原厂**产品线）

全型号：CV 标准型、CV-S 高真空型、CV-I 耐高温型、F/FV 正向型、FS/FVS 复合低压型

1.CV（基础平片型｜半导体腔体标配）

• 爆破压力：0.035~0.5bar（矩形）、0.035~1.03bar（圆形）；工作压力≤70% 爆破值；耐温 - 40~250℃

• 场景：蚀刻工艺腔、常压 ALD 腔体、废气缓冲罐超压防爆

2.CV-S（预拱型高真空款）

• 耐高负压 + 压力脉动，工作压力 75% 爆破压力；适配反复抽真空腔体

• 场景：PVD 溅射腔体、分子泵前级缓冲罐、高压气源钢瓶防爆

3.CV-I（带隔热夹层耐高温）

• 耐温 - 40~450℃，高温退火炉 / LPCVD 管式炉专用

4.F/FV 高压型：爆破压力 1~10bar，特种高压工艺气瓶（NF₃、HF 钢瓶）防爆

5.FS/FVS 超低爆破型：0.01~0.2bar，低压负压腔体、尾气洗涤塔泄压