可定制SUS316L日本ORK半导体设备真空管路柔性波纹管 

WF 型 Wormfree Flex®

型号：ORVB-xxWF

• 材质：本体 SUS316L；编织网 SUS304（可选单层编织）

• 规格：公称径 3A~50A（1/8"~2"）；内径 3.2mm～50mm；壁厚极薄 0.10~0.25mm；成品长度 120~3000mm 可定制

• 压力：裸管真空～1.5MPa；带编织最高 11MPa（小管径）

• 温度：-196℃ ~ +400℃

• 最小弯曲半径：固定弯曲 R10~60mm；反复弯曲 R55~120mm，同口径里最柔软，接近橡胶手感

• 特点：无蠕变结构、压力损失低、反复弯折寿命ji强；管端直管段可直接焊接；高纯内壁，析出极低；氦检漏等级 1.33×10⁻¹⁰ Pa・m³/s

• 介质：高纯 N₂、Ar、O₂、工艺气体、冷却水、真空、氢气；弱腐蚀流体

• 应用场景：半导体设备高纯气路、真空管路、精密仪器、需要持续位移振动的设备连接、小型真空腔配管
  
  

  SUS316L日本ORK半导体设备真空管路柔性波纹管 行业应用汇总

• 半导体设备（主力）：真空管路、CVD/PVD/ 刻蚀机、真空泵配管、高纯工艺气体输送、腔体检修伸缩段；优先 WF、SF、Light Free

• 精密真空：分析仪器、检漏设备、低温真空、超导

• 化工湿法：HC 哈氏合金用于腐蚀流体

• 通用工业：泵、锅炉、空压机减振、管道热膨胀补偿（A 型、2C 膨胀节）

• 新能源：氢气管路、太阳能设备

• 低温工程：液氮 / 液氦输送 Light Free 波纹管