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ESA15-D厂商性质
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进口EBARA荏原ESA多级罗茨干式真空泵 ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句话：氢气 / 轻气体*强干泵 + 大腔体超快粗抽；MO‑CVD *标配、面板 / 光伏
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ESA80W-HDF厂商性质
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EBARA荏原ESA系列多级罗茨干式真空泵 ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句话：氢气 / 轻气体*强干泵 + 大腔体超快粗抽；MO‑CVD *标配、面板 / 光伏
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ESA80WN-HDF厂商性质
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EBARA荏原ESA系列多级罗茨干式真空泵 ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧wan全无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句话：氢气 / 轻气体*强干泵 + 大腔体超快粗抽；MO‑CVD *标配、面板 / 光伏
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EV-S100厂商性质
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日本进口EBARA荏原 罗茨型干泵 EBARA荏原EV-S系列干式真空泵，是日本荏原（EBARA）旗下核心工业级无油真空设备，采用多级罗茨啮合旋转结构，属于干式无油真空泵，全程无油、无接触啮合，无需润滑油润滑，从根源上杜绝油污染，契合半导体、光伏、锂电池、制药、化工等对洁净度要求高的行业需求。该系列核心作用是直接抽取气体，实现系统高真空环境，无需搭配前级泵即可独立运行，凭借空冷节能、高水蒸气耐受
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EV-SA30厂商性质
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日本进口EBARA荏原EVSA30罗茨干式真空泵 BARA 荏原 EV 系列 干式真空泵（半导体全制程・节能型罗茨干泵） 定位：EV 系列是荏原全场景覆盖的干式罗茨泵，分为 EV‑S（轻载）、EV‑M（重载）、EV‑SA/EV‑A（风冷小型）、EV‑L（大流量）四大子系列，主打超节能、紧凑占地、宽温控制、标准耐腐，适配半导体从 Load‑lock 到 CVD 的全制程。
