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产品型号
EV-M505SF -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-06-01 -
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138
产品描述
华南一级代理EBARA 荏原EVM505SF罗茨式干泵 EBARA 荏原 EV‑M 系列是半导体级水冷多级罗茨干泵，专为高负载、高温、含微量腐蚀气体的严苛制程设计。主打轻气体（氢气）大抽速、智能节能、强耐腐、长寿命，是 ALD、LPCVD、MOCVD 等制程的核心泵型。
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产品型号
ESA-100WN厂商性质
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96产品描述
进口华南一级代理EBARA荏原多级罗茨干式真空泵 ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句话：氢气 / 轻气体*强干泵 + 大腔体超快粗抽；MO‑CVD 全球标配、面板 / 光伏
产品型号
ESA500W厂商性质
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119产品描述
日本进口EBARA荏原多级罗茨干式真空泵 ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句话：氢气 / 轻气体*强干泵 + 大腔体超快粗抽；MO‑CVD 全球标配、面板 / 光伏
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日本进口EBARA荏原多级罗茨干式真空泵 ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句话：氢气 / 轻气体*强干泵 + 大腔体超快粗抽；MO‑CVD 全球标配、面板 / 光伏
产品型号
ESA25-D厂商性质
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109产品描述
华南一级代理EBARA荏原多级罗茨干式真空泵 ESA 系列 = EBARA 荏原 多级罗茨式干泵 结构：两级主泵 + 罗茨增压，真空侧无油 抽速：1,400～70,000 L/min（84～4,200 m³/h） 极限真空：0.13～400 Pa（0.0013～4 mbar） 冷却：水冷（全系列） 一句话：氢气 / 轻气体*强干泵 + 大腔体超快粗抽；MO‑CVD 全球标配、面板 / 光伏