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产品型号
TND--Single Plus-P1~P4 -
厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-06-01 -
浏览次数
56
产品描述
日本进口EBARA荏原 湿式废气处理装置 EBARA 荏原 TND 型是半导体用燃烧式废气处理装置（Burn-type Scrubber），专门处理PFCs（全氟化物）、SiH₄、PH₃等难分解可燃废气，常与 G-WS 湿式洗涤塔配套组成 “燃烧 + 湿式” 综合处理系统
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华南一级代理EBARA 荏原EVM505SF罗茨式干泵 EBARA 荏原 EV‑M 系列是半导体级水冷多级罗茨干泵，专为高负载、高温、含微量腐蚀气体的严苛制程设计。主打轻气体（氢气）大抽速、智能节能、强耐腐、长寿命，是 ALD、LPCVD、MOCVD 等制程的核心泵型。