●新产品： “SX Stage "系列成本低、精度高、交货期短。
●长冲程自动 X 平台，带交叉滚柱导轨。
●使用清洁油脂。
●进料系统使用滚珠螺杆，经久耐用。
●使用 5 相步进电机。
●区域（基准）传感器用于归位，光线始终进入 CW 侧。
●建议使用 KOSMOS 系列控制器。
●超高分辨率型使用一根电缆，可连接 5 条电机导线。

一、型号命名规则（选型关键）

前缀

XA：微型短行程单轴 X
YA：XA 同源一体化 XY
SXA：标准 / 长行程单轴 X
SYA：SXA 同源一体化 XY

数字：台面尺寸（04=40mm、05=50mm、07=70mm、10=100mm）
后缀行程代码

R：短行程；L：长行程；RH：高刚性型

环境后缀

-R：标准通用润滑
-C：无尘洁净润滑（Class1000）
-V：真空低析出润滑
-BM：2 相电机版本；无 BM=5 相东方马达标配
-R末尾：镜像反向安装机型

二、主流型号参数总表

1）XA 微型单轴 X 平台（40/50/70 台面，光学耦合、显微载台shou选）

型号	台面尺寸	有效行程	重复定位	微步分辨率	水平承载	最高速度
XA04A-R102	40×40mm	±5mm	±0.2μm	0.05μm	3kgf	5mm/s
XA05A-R202	50×50mm	±7.5mm	±0.2μm	0.05μm	5kgf	5mm/s
XA07A-R202	70×70mm	±10mm	±0.2μm	0.05μm	10kgf	6mm/s

2）YA 一体化 XY 平台（XA 双层一体，整机高度更低，免装配调试）

型号	台面尺寸	X/Y 行程	重复定位	微步分辨率	承载	整机高度
YA04A-R101	40×40mm	±5mm	±0.2μm	0.05μm	2.5kgf	62mm
YA05A-R201	50×50mm	±7.5mm	±0.2μm	0.05μm	4.5kgf	74mm
YA07A-R202	70×70mm	±10mm	±0.2μm	0.05μm	9kgf	82mm

3）SXA 标准 / 长行程单轴 X 平台（扫描检测、大范围定位主力）

型号	台面尺寸	有效行程	重复定位	微步分辨率	水平承载	最高速度
SXA0530-R01	50×60mm	±15mm	±0.3μm	0.05μm	15kgf	10mm/s
SXA0750-R01	75×100mm	±25mm	±0.3μm	0.05μm	20kgf	10mm/s
SXA0775-R02	75×100mm	±37.5mm	±0.3μm	0.05μm	18kgf	10mm/s
SXA1075-R01	100×120mm	±37.5mm	±0.3μm	0.05μm	25kgf	10mm/s

4）SYA 一体化长行程 XY 平台（SXA 双层一体，产线自动化常用）

型号	台面尺寸	X/Y 行程	重复定位	微步分辨率	承载	整机高度
SYA0530-R01	50×60mm	±15mm	±0.3μm	0.05μm	14.5kgf	92mm
SYA0750-R01	75×100mm	±25mm	±0.3μm	0.05μm	19kgf	105mm
SYA1075-R01	100×120mm	±37.5mm	±0.3μm	0.05μm	23kgf	118mm

补充说明：想要更大行程 ±50~±200mm 选用 XA16F / XA20F、SYA16F/SYA20F 重载系列，承载最高可达 100kgf；若需要真空腔体使用，选用 MVXA / MVYA 真空专用系列。

典型运用场景

1. 半导体行业（最大应用市场）

晶圆外观缺陷检测、膜厚测量 XY 载台
探针台、固晶机、倒装芯片二维精密对位
真空镀膜、溅射设备基板定位（选用 - V 真空规格）
SiC/GaN 第三代半导体显微观测平台
Mini/Micro LED 芯片检测、像素校准

2. 光通信 & 光学系统

光模块、光纤阵列、无源器件 XY 自动耦合对准
激光加工、激光准直、干涉仪光路微调
显微系统样品二维扫描平台

微型 40/50/70 台面 YA07A、XA07A 出货量最高

3. 精密检测仪器

白光干涉仪、激光轮廓仪样品移动平台
PCB、FPC 线路自动光学检测（AOI）
材料表面形貌、薄膜镀层自动化扫描

4. 科研实验室

同步辐射、XRD 衍射、光谱仪器样品定位；光学平台自动化位移模组

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简要描述：日本进口KOHZU神津精机电动精密 X/XY 平台
传动：精密研磨滚珠丝杠 + 交叉滚子预紧导轨；标配 5 相步进电机，可选 2 相步进、光栅闭环；支持洁净室 C / 真空 V润滑规格

一、型号命名规则（选型关键）

二、主流型号参数总表

1）XA 微型单轴 X 平台（40/50/70 台面，光学耦合、显微载台shou选）

2）YA 一体化 XY 平台（XA 双层一体，整机高度更低，免装配调试）

3）SXA 标准 / 长行程单轴 X 平台（扫描检测、大范围定位主力）

4）SYA 一体化长行程 XY 平台（SXA 双层一体，产线自动化常用）

典型运用场景

1. 半导体行业（最大应用市场）

2. 光通信 & 光学系统

3. 精密检测仪器

4. 科研实验室

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一、型号命名规则（选型关键）

二、主流型号参数总表

1）XA 微型单轴 X 平台（40/50/70 台面，光学耦合、显微载台shou选）

2）YA 一体化 XY 平台（XA 双层一体，整机高度更低，免装配调试）

3）SXA 标准 / 长行程单轴 X 平台（扫描检测、大范围定位主力）

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