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| 品牌 | KOHZU/神津精机 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
日本进口KOHZU神津精机精密电动平台
日本进口KOHZU神津精机精密电动平台
分为两大子类型：
✅ R 系列：交叉滚子导轨，短行程 ±12.5mm，光学对位主力
✅ L 系列：线性滚珠导轨，长行程 ±50mm，大范围扫描
后缀规则通用：-R标准润滑 /-C洁净室 /-V真空低析出；-BM=2 相步进电机；-R/-RRR电机镜像反向；标配 5 相东方步进电机；可选外置光栅闭环。
| 型号 | 台面 | 行程 | 丝杆导程 | 1/20 微步分辨率 | 重复定位 | 水平额定负载 | 自重 | 最高速度 | 导轨形式 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| XA10A-R102 | 100×100mm | ±12.5mm | 0.5mm | 0.025μm | ≤±0.3μm | 20kgf | 1.55kg | 2.5mm/s | 交叉滚子导轨 |
| XA10A-R202 | 100×100mm | ±12.5mm | 1.0mm | 0.05μm | ≤±0.2μm | 20kgf | 1.55kg | 5mm/s | 交叉滚子导轨 |
| XA10A-L101 | 100×100mm | ±50mm | 1.0mm | 0.1μm | ≤±0.5μm | 18kgf | 2.4kg | 10mm/s | 线性导轨 |
| XA10A-L201 | 100×100mm | ±50mm | 2.0mm | 0.2μm | ≤±0.5μm | 18kgf | 2.4kg | 20mm/s | 线性导轨 |
| 型号 | 台面 | X/Y 行程 | 丝杆导程 | 1/20 微步分辨率 | 重复定位 | 水平额定负载 | 自重 | 最高速度 | 导轨形式 | 正交度 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| YA10A-R102 | 100×100mm | ±12.5mm | 0.5mm | 0.025μm | ≤±0.3μm | 18kgf | 3.1kg | 2.5mm/s | 交叉滚子导轨 | ≤5μm/25mm |
| YA10A-R202 | 100×100mm | ±12.5mm | 1.0mm | 0.05μm | ≤±0.2μm | 18kgf | 3.1kg | 5mm/s | 交叉滚子导轨 | ≤5μm/25mm |
| YA10A-L101 | 100×100mm | ±50mm | 1.0mm | 0.1μm | ≤±0.5μm | 16kgf | 7.6kg | 10mm/s | 线性导轨 | ≤8μm/100mm |
| YA10A-L201 | 100×100mm | ±50mm | 2.0mm | 0.2μm | ≤±0.5μm | 16kgf | 7.6kg | 20mm/s | 线性导轨 | ≤8μm/100mm |
| 对比项 | XA10A（单轴） | YA10A（一体化 XY） |
|---|---|---|
| 结构 | 独立单轴，两台堆叠组成 XY | 出厂双层一体化十字平台 |
| 优势 | X/Y 行程可自由不对称搭配；后期方便叠加 Z 轴；单轴损坏单独更换 | 出厂正交校准；整机高度更低；布线集中；现场调试工作量小 |
| 劣势 | 堆叠后整机更高；需要现场校正 XY 正交度 | 上下轴行程固定，无法自由搭配 |
| 标准拓展方案 | XA10A+XA10A 堆叠 XY + ZA10A Z 轴 | YA10A + ZA10A（楔形 Z 轴）= 标准 XYZ 耦合平台（行业主流） |
固晶机、倒装芯片、微型元器件 XY 精密对位
探针台、芯片微观缺陷显微观测平台
Mini/Micro LED 芯片像素检测、光学量测
洁净工况选用-C；真空腔体选型-V
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