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| 品牌 | KOHZU/神津精机 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 化工,能源,电子/电池,汽车及零部件,电气 |
KOHZU神津精机RA 系列 电动旋转平台θ 轴
KOHZU神津精机RA 系列 电动旋转平台θ 轴
W 型（蜗轮蜗杆回转台｜大范围旋转）
型号：RAxxA-W01/W02
旋转范围：±135°~±177°，可实现大角度回转；角接触轴承；自带蜗轮蜗杆自锁；适合偏振调整、光纤旋转耦合、样品大范围旋转。
真空版本：MVRAxxA-W（真空腔体专用低析出润滑）
T 型（楔块式微调旋转台｜小角度精密调芯）
型号：RAxxA-T01/T02
旋转范围：±3° / ±5°（极小角度）；楔块 + 交叉滚子导轨；端面跳动、偏心极小；XYθ 三轴对准黄金搭配，半导体 / 光通信芯片对位主力。
命名释义
RA：电动旋转 θ 平台
04/05/07/10/16：台面规格
W：蜗轮蜗杆大范围回转
T：楔块式小角度微调
后缀-R：电机镜像反向安装
环境后缀：-R标准 / -C洁净 / -V真空（MVRA 系列）
标配：5 相东方步进电机；可选 -BM两相电机、外置光栅闭环
| 型号 | 台面尺寸 | 旋转行程 | 1/20 微步分辨率 | 角度重复定位 | 水平额定负载 | 端面跳动 | 偏心 | 自重 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| RA05A-T01 | 50×50mm | ±3° | 0.0002° | ≤±0.002° | 6kgf | ≤5μm | ≤5μm | 0.5kg |
| RA07A-T02 | 70×70mm | ±5° | 0.0002° | ≤±0.002° | 8kgf | ≤5μm | ≤5μm | 0.9kg |
| RA10A-T02 | 100×100mm | ±5° | 0.0002° | ≤±0.002° | 15kgf | ≤6μm | ≤6μm | 1.53kg |
| RA16A-T01 | 160×160mm | ±5° | 0.0002° | ≤±0.003° | 40kgf | ≤8μm | ≤8μm | 4.0kg |
| 型号 | 台面 | 旋转范围 | 1/20 微步分辨率 | 角度重复定位 | 水平负载 | 最高转速 | 自重 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| RA04A-W01 | Φ40mm | ±177° | 0.0002° | ≤±0.002° | 4kgf | 20°/s | 0.45kg |
| RA05A-W02 | Φ49mm | ±157° | 0.0002° | ≤±0.002° | 4kgf | 20°/s | 0.65kg |
| RA07A-W02 | Φ68mm | ±135° | 0.0002° | ≤±0.002° | 6kgf | 20°/s | 1.2kg |
| RA10A-W01 | Φ98mm | ±140° | 0.0002° | ≤±0.002° | 10kgf | 15°/s | 2.3kg |
| RA16A-W01 | Φ140mm | ±155° | 0.0002° | ≤±0.003° | 20kgf | 12°/s | 5.2kg |
驱动：标配 5 相步进电机，运行振动低；支持微步细分，角度分辨率可达 0.0002°
精度指标
角度重复定位：≤0.002°
T 型楔块台端面跳动、径向偏心是核心优势，适合光学对准
可选外置光栅闭环，消除传动空程误差
材质：铝合金，白色哑光阳极氧化
限位：内置原点光电传感器 + 机械硬限位
环境规格
标准车间：-R
Class1000 无尘：-C
真空腔体：选用 MVRA 真空系列（不可直接普通 RA 改造）
光模块、光纤阵列、硅光芯片 XYθ 三维自动耦合对准
偏振控制器、波片大范围角度旋转（W 型回转台）
无源器件、透镜模组角度调芯
探针台、固晶机、倒装芯片 XYθ 精密对位
Mini/Micro LED 芯片像素旋转校准、光学检测
晶圆外观检测、薄膜测量样品旋转定位
真空镀膜、溅射腔体内部样品姿态调整（MVRA 真空型号）
偏振光学系统、干涉仪光路旋转调整
XRD、同步辐射、光谱仪样品旋转台
激光轮廓仪、显微系统多角度样品观测
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