简要描述：日本进口IHARA 伊原科学HFD 金属隔膜阀
HFDシリーズ 大流量メタルダイヤフラムバルブ は、清浄度に優れた大流量を流すことができるバルブです。従来のメタルダイヤフラムバルブと同等の気密性を確保しながらも、開閉リフト量の増加と最適化を行うことでスムーズな流路となり、大流量を実現しました。また、開閉表示機能付きで、一目で開閉状態が確認できます

基础参数

型号‑规格‑Cv 参数总表

型号编码：HFD‑规格代码‑接口后缀‑表面‑驱动后缀

规格代码：8=1/2"基座；12=3/4"&1" 基座

1/2"基座（代码 8，最大接口 1/2"）

3/4"&1" 基座（代码 12）

后缀说明：

1. ‑NO：气动常开；‑DA：双作用；‑F：锻造阀体（HFD‑16VM‑F‑NC），UHP 超高纯优选；

2. ‑EP电解抛光 / ‑BA光亮退火；

3. IPP 入口吹扫、OPP 出口吹扫、IOPP 双向吹扫，用于阀箱 VMB 吹扫置换；

4. 接口可异径，例 HFD‑12VFVM(8)：一端 3/4"VF，一端 1/2"VM 异径接头。

型号编码举例

• HFD：HFD 系列；16：1" 规格；VM：VTF 外螺纹；F 锻造阀体；EP 电解抛光；NC 气动常闭；IOPP 双向吹扫端口。

HFD 系列核心产品特点

1. 大流量金属隔膜结构：相比 DVF/DVE 小口径隔膜阀，Cv 大幅提高，死腔极小，气体置换性能优秀，阀位可视指示器，肉眼确认开关状态イハラサイ...。

2. 全金属隔膜密封，无填料函，零外泄漏；适合高纯、有毒、可燃特气；隔膜为钴镍合金，抗疲劳寿命高。

3. 可带吹扫端口，阀箱 VMB 多路阀组内部吹扫，减少残气滞留。

4. 洁净室装配清洗，无油处理，满足半导体 UHP 超高纯大宗气体标准。

5. HFD‑F 锻造阀体版本：阀体无铸造气孔缺陷，用于对颗粒要求严苛制程。

运用场景

1. 半导体晶圆厂（最主要）

• 大宗气体总管支路阀门：N₂、Ar、O₂、H₂等 UHP 超高纯气体；

• VMB 阀箱主管切断、吹扫阀，替代传统小流量 DVE/DVF 隔膜阀用于中大流量支路；

• 蚀刻、沉积设备辅助工艺气路，高纯气体输送切断。

2. 光伏 / 锂电行业

   惰性保护气体、高纯工艺气体管路切断；对洁净度、低颗粒要求高的供气系统。
3. 特种化工 & 实验室特气柜

   高纯腐蚀性、惰性气体；不允许外漏工况；适合真空到 1MPa 压力区间。
4. 制药、高纯流体系统

   高纯惰性气体，洁净管路切断；不适合大量液体，优先气体工况。