简要描述：日本进口AZBIL山武 热式气体质量流量计
配备微小感热式流速传感器的气体质量流量计。 微小感热式流速传感器与du有的整流结构相组合，从而实现高精度、宽范围的气体质量流量测量。

日本进口AZBIL山武 热式气体质量流量计

重要区分：CMS 是质量流量计 MFM，只测流量，不能自动调节流量；MQV/F4Q/F4H/MPC 是 MFC 质量流量控制器（内置电磁阀，可闭环控制流量）Azbil Corp...。CMS 同样采用 μF‑Micro‑Flow MEMS 热传感芯片；量程覆盖 500 mL/min～2000 L/min；带本地显示，低压损，不需要前后直管段；用于气体计量、监测、累计，需要调节流量要外接调节阀。

一、全系列标准型号 & 量程（N₂/Air，标准状态 L/min）

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型号后缀编码释义Azbil Corp...

• B：一体本地显示；无 B 为无显示版本

• P：PBT 树脂流路；S：SUS316 不锈钢流路（工艺气体优先）

• T：Rc 螺纹；S：Swagelok 卡套；V：VCR 接头；U：UNF 接头

• H：氢气 / 氦气专用版本

• 1：RS‑485 Modbus‑RTU；0：无通讯仅模拟输出

• 密封圈：FKM 标准；EPDM 可选氨 / 乙炔

CMS 没有内置电磁阀，不存在断电关闭气路功能。

二、日本进口AZBIL山武 热式气体质量流量计 工作原理

μF‑Micro‑Flow 微型热式 MEMS 传感原理（仅测量，无控制阀门）

1. 传感器芯片内置加热电阻、上下游测温铂电阻；无气流时温度分布对称；气体流过带走热量，上下游产生温差。

2. 温差大小正比于气体质量流量，直接输出质量流量；无需外部温度、压力补偿。

3. 信号处理单元转换为瞬时流量、累积流量；输出模拟信号、脉冲累积、RS‑485 数字信号；本体没有调节阀，只做监测计量。

4. du有流路整流结构：不需要上下游直管段，可以紧邻弯头、接头安装，空间受限场景优势明显。

三、核心通用技术参数

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四、CMS 系列主要特点

1. 只测流量，不能控流量，如需闭环控制，必须搭配手动阀、比例阀 + PLC 构成闭环系统。

2. 无需直管段，狭小设备内部、弯头附近直接安装，节省空间。

3. 低压损，不会明显压降影响后端工艺压力，适合燃烧炉低压燃气监测。

4. 自带流量累积计量，适合统计气体消耗量，车间用气能耗管理。

5. 树脂 PBT 版本成本更低；SUS316 用于工艺、氧气、可燃气体。

6. 支持脉冲累积输出，方便 PLC 做总用气统计；RS‑485 可多台组网采集流量数据。

五、应用场景

1. 热处理工业炉：保护气、燃气、丙烷、氮气流量监测与耗气量统计；不做闭环控制，只做监视记录。

2. 燃烧设备：燃烧器燃气、助燃空气流量监测，能耗统计。

3. 工厂能源管理：车间各支路氮气、压缩空气、工艺气体消耗计量。

4. 实验室配气设备：气体配比监测，外接调节阀手动设定流量。

5. 锂电、陶瓷烧结设备：气氛气体流量监视、数据记录。

6. 氢氦工艺：氢气、氦气流量测量（选用 H 专用型号）。

7. 分析仪、环境设备：样气流量监测。