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| 品牌 | AZBIL/日本山武 | 价格区间 | 面议 |
|---|---|---|---|
| 产品种类 | 质量式 | 介质分类 | 气体 |
| 产地类别 | 进口 | 应用领域 | 能源,电子/电池,电气,半导体,机械设备 |
日本进口AZBIL山武 热式微小液体流量计
F7M 是液体 MFM，仅测量，不带控制阀；沿用气体 MFC 成熟 MEMS 热传感技术；流路为熔融石英玻璃 + PFA/PTFE 氟树脂，强耐腐蚀性；专门针对50 mL/min 以内超小液体流量；半导体、锂电、生化试剂微量给药 / 填充场景。
表格
| 型号 | 满量程 FS | 可测范围 | 保证精度区间 |
|---|---|---|---|
| F7M9010 | 10 mL/min | 0.1‑11.5 mL/min | 0.2‑10 mL/min |
| F7M9030 | 30 mL/min | 0.3‑34.5 mL/min | 0.6‑30 mL/min |
| F7M9050 | 50 mL/min | 0.5‑57.5 mL/min | 1.0‑50 mL/min |
型号后缀编码释义
A：无本地显示屏，仅状态 LED 指示灯（全系 F7M 无 LCD 面板）
接头：1 = 外径 Φ3mm 氟树脂管；2=1/8" 氟树脂管（PILLAR SUPER‑300 接头）
输出：0 = 模拟输出 + DI 数字输入 + DO 数字输出；防水连接器
D：附加可追溯校验证书
接液材质：熔融石英玻璃、PFA、PTFE；本体外壳非金属，IP65 防护Azbil Corp...。
流路内置石英玻璃毛细管，内置液体温度传感器 Rr与加热传感器 Rh。
电路将加热器维持高于液体温度固定温差；液体流动带走加热器热量；流量越大，带走热量越多，需要的加热功率越大。
通过加热功耗换算液体瞬时流量；可输出瞬时流量、累积流量。
无活动部件；不需要温压补偿；支持流体热导率修正，适配多种溶剂。
注意：气泡、管壁附着沉淀会带来测量漂移；不能测量含大量固体颗粒液体。
表格
| 项目 | 参数 |
|---|---|
| 设备类型 | 热式微小液体流量计 MFM，无控制阀 |
| 接液材质 | 熔融石英玻璃、PFA、PTFE |
| 精度（水介质） | ≥20%FS：±5%RD；＜20%FS：±1%FS |
| 重复性 | ≥20%FS：±1%RD；＜20%FS：±0.2%FS |
| 响应时间 | 1.0 s typ（63.2% 阶跃响应） |
| 量程比 | 100:1 |
| 工作压力 | 0‑500 kPa（表压）；耐压 700 kPa |
| 介质温度 | 10‑35 ℃ |
| 供电 | DC24 V |
| 模拟输出 | 1‑5 V（对应 0‑115% FS） |
| 数字信号 | DI 外部清零累积；DO：上限 / 下限报警、故障、累积脉冲输出 |
| 通讯 | 无 RS‑485 Modbus；USB 调试口用于流体系数修正 |
| 防护等级 | IP65 |
| 安装姿态 | 水平、垂直均可 |
| 兼容流体 | 水、电解液、各类溶剂、稀酸稀碱；不腐蚀石英玻璃、PFA/PTFE 即可 |
| 不适用 | 高浓度 HF qin氟酸（腐蚀石英）、含大量固体颗粒、高粘度粘稠液体 |
| 外形尺寸 | 约 72 × 54 × 34 mm；重量约 130 g |
超微小液体流量测量：zui低 0.1 mL/min，传统转子、涡轮流量计很难实现。
强耐腐蚀流路：石英玻璃 + 全氟树脂，适配半导体化学品、电解液、生化试剂。
无运动部件，低压损，不易磨损。
支持流体系数修正：不同导热系数的有机溶剂可以在 PC 软件输入修正系数。
自带流量累积、脉冲输出、上下限流量报警；外部端子可清零累积值，适配分装填充工艺。
IP65 外壳，可耐受液体喷淋；整机无金属接触液体，避免金属离子析出污染药液。
局限：无内置阀门；无 Modbus 总线；介质温度范围窄；qin氟酸禁用；大量气泡会造成波动。
半导体行业：光刻胶、清洗液、药液微量涂布、填充、喷雾流量监测。
锂电制造：电解液微量注入、分装、配比监测。
生化 / 分析设备：试剂、稀释液、清洗液微量输送计量。
灭菌设备：guo氧化氢、消毒液喷雾流量监控。
精密化工：微量药剂混合、微量滴定、小剂量配料。
OEM 设备集成：设备内置微量液体流量监测，替代依靠泵转速间接估算流量的方式。
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