简要描述：日本PILLAR皮拉 PAV系列通气阀
这是一个集成了 Super 300 型立柱接头的排气阀。O形圈可以选择 EPDM 或 全氟橡胶。对清洁度和耐化学性要求ji高的管道，例如半导体制造设备中的管道。

日本PILLAR皮拉 PAV系列通气阀工作原理

PAV 为手动 PFA 排气阀，结构是 T 型三通，上端手轮为排气口，直通大气，进出口接入药液主管路：

1. 正常运行：手轮旋紧，阀内 PTFE 阀座密封，药液在主管正常输送，无泄漏；

2. 排气操作：缓慢旋松顶部手轮，管路高点聚集的气泡优先从顶部排气口排出；看到药液流出后立刻锁紧手轮；

3. 安装位置：管路最高点，专门收集开机、换液、停机重启产生的气团；

4. 无金属接触药液，气泡排出过程不会带入颗粒污染。

日本PILLAR皮拉 PAV系列通气阀产品特点

1. Pilaflon™高纯材质：阀体 PFA，阀座 PTFE；O 圈可选 EPDM / Kalrez，耐 HF、SC1/SC2、SPM、双氧水等强腐蚀药液www3.pilla...；

2. Super300 一体化卡套接头，直接对接 PFA 管路，减少接头数量、降低泄漏点；

3. 小型轻量化，适合设备机架狭小空间安装；

4. 低死角流道，药液排空顺畅，不易结晶；

5. 全接液无金属，金属离子析出极低，满足半导体湿制程洁净要求；

6. 手动操作，排气可控，防止药液大量喷出。

规格参数

应用场景

1. 半导体晶圆湿法清洗设备：PE 波纹管泵药液管路最高点排气，消除气堵，避免气泡导致流量跳动、压力波动；

2. FPD 面板清洗药液输送管路；

3. CMP 浆料供给回路（搭配 PA-C 累加器）；

4. 高纯精细化工、锂电化学品输送管线；

5. 整套药液回路开机、换药液、维护重启时排气；

系统串联位置：PA 累加器出口管路高点，安装 PAV 排气阀。