简要描述：日本PILLAR皮拉 流量控制阀
对清洁度和耐化学性要求ji高的管道，例如半导体制造设备中的管道。与液体接触的部件：PFA、PTFE

同属 Super300 一体化接头高纯阀件，手动微量节流阀，用于 PE 波纹管泵药液支路做精细流量微调，和 PSV、PGB、PAV 配套组成完整药液管路系统。

日本PILLAR皮拉 流量控制阀工作原理

PCAP 为角式 PFA 精密针型节流阀

1. 顶部带刻度手轮，旋转手轮带动 PTFE 锥形针阀上下移动；

2. 针阀插入阀座，改变阀口流通截面积，无级调节节流开度，从而控制药液流量大小；

3. 属于节流型流量微调阀，依靠改变流道液阻实现流量调节；

4. 接液侧无弹簧、无金属零件，只有 PFA 阀体 + PTFE 针阀芯；

5. 角式结构（90°），安装节省空间，管路转向同时完成流量调节。

日本PILLAR皮拉 流量控制阀产品特点

1. Pilaflon™高纯材质：阀体 PFA、调节针 PTFE；全接液无金属，低金属离子析出，满足半导体湿制程；

2. Super300 一体化卡套接头，和 PSV/PGB/PAV wan全通用，管路直接对接，减少泄漏点；

3. 精密刻度手轮，微量微调，适合小流量精细控制；CV 值 0.026，可实现极小流量调节；

4. 角式 90° 结构，设备机架狭小空间安装友好；

5. 流道平滑低死角，排空性能好，减少药液结晶；

6. 耐 HF、SC1/SC2、SPM、双氧水、TMAH 等强腐蚀高纯药液。

四、规格参数

五、应用场景

1. 半导体晶圆湿法清洗设备：PE 波纹管泵供给支路、喷淋支管微调喷嘴流量；

2. FPD 面板清洗药液输送管路，单路喷嘴流量均衡调节；

3. CMP 浆料供给回路，支路流量配比；

4. 高纯精细化工、锂电化学品输送管线微量配比；

5. 整套药液系统：主路由 PB-12+PE 泵控制总流量，PCAP 用于各分支喷嘴独立微调。