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产品型号
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厂商性质
经销商 -
更新时间
2026-10-12 -
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产品描述
代理品牌EBARA荏原EV-X100N无油干式真空泵 这款用于中等负荷工艺的干式真空泵采用了荏原专有的节能技术,并采用了针对自动化工厂制造而优化的模块化设计,从而实现了进一步的小型化和节能。 宽范围温度控制拓展了适用工艺的范围。由于同一型号设备可覆盖多种工艺,因此优化了备用设备库存,减少了维护和培训工作量,并可灵活适应未来的工艺扩展。 适用应用实例:各种蚀刻和 CVD 工艺、灰化、离子注入。
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